特許

J-GLOBAL ID：200903098721180153

測定装置

発明者： 清水 仁
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (2件)： 柳田 征史 ,  佐久間 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-080494
公開番号（公開出願番号）：特開2005-265693
出願日： 2004年03月19日
公開日（公表日）： 2005年09月29日
要約：

【課題】 一つの測定チップの薄膜層に特性の異なる2つの領域を設け、この2つの領域に対して並列的に測定を行う測定装置において、いずれの領域の測定も高精度に行えるようにする。 【解決手段】 金属膜12が2つの領域12aおよび12bに分けられ、そのうちの一方の領域12b上にセンシング物質30が固定された測定チップ9の、誘電体ブロック10と金属膜12の領域12aとの界面において全反射した光ビームを検出する2分割フォトダイオード17と、誘電体ブロック10と金属膜12の領域12bとの界面において全反射した光ビームを検出する2分割フォトダイオード17とを独立して設け、さらに2つの2分割フォトダイオード17の位置を独立して調整する位置調整手段21を設け、各2分割フォトダイオード17を暗線を検出する最適な位置にそれぞれ配置して測定を行う。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

光ビームを発生させる光源と、 前記光ビームに対して透明な誘電体ブロック、該誘電体ブロックの一面に形成される薄膜層、および該薄膜層の表面上に試料を保持可能に形成された試料保持機構を備えてなり、前記薄膜層が前記表面上に特性の異なる2つの領域を有する測定チップと、 前記薄膜層の異なる2つの領域のうちの一方の領域と前記誘電体ブロックとの第1界面、および前記2つの領域のうちの他方の領域と前記誘電体ブロックとの第2界面の各々に対して、全反射条件が得られる角度で並列的に前記光ビームを入射させる光学系と、 2つの受光素子が所定方向に並設されてなり、前記第1界面において種々の反射角で全反射した光ビームの成分を異なる受光素子が受光する向きにして配設された第1光検出手段と、 2つの受光素子が前記所定方向に並設されてなり、前記第2界面において種々の反射角で全反射した光ビームの成分を異なる受光素子が受光する向きにして配設された第2光検出手段と、 前記第1光検出手段および前記第2光検出手段の前記所定方向における位置を独立して調整する位置調整手段と、 前記第1光検出手段の2つの受光素子の出力の差分および前記第2光検出手段の2つの受光素子の出力の差分に基づいて、前記薄膜層の前記表面上の2つの領域の屈折率情報を求める屈折率情報取得手段とを備えてなることを特徴とする測定装置。

IPC (2件)：

G01N21/27 ,  G01N21/03

FI (2件)：

G01N21/27 C ,  G01N21/03 Z

Fターム (26件)：

2G057AA05 ,  2G057AB04 ,  2G057AC01 ,  2G057BA01 ,  2G057BB06 ,  2G057BD01 ,  2G057DA08 ,  2G057DB05 ,  2G057DB08 ,  2G059AA01 ,  2G059AA02 ,  2G059AA05 ,  2G059BB04 ,  2G059EE02 ,  2G059FF04 ,  2G059FF09 ,  2G059GG01 ,  2G059GG04 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ20 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK02 ,  2G059KK03 ,  2G059MM05

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 表面プラズモン共鳴を利用した測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-286189   出願人：オリンパス光学工業株式会社, 理化学研究所
• 特開2003-365212号公報
  
• 測定チップ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-092666   出願人：富士写真フイルム株式会社