特許

J-GLOBAL ID：200903098724838486

圧力が精密制御されるウエハ-研磨装置

発明者： 花園 邦比古 ,  古川 昌徳
出願人/特許権者： 不二越機械工業株式会社
代理人 (1件)： 山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-161322
公開番号（公開出願番号）：特開平7-009327
出願日： 1993年06月30日
公開日（公表日）： 1995年01月13日
要約：

【要約】 (修正有)【構成】 ウエハを下定盤に押圧し研磨加工を行うにあたり、流体圧発生器12からウエハ加圧機構への流体供給管9の圧力発生器側に始端圧力センサ15を、ウエハ加圧機構側に終端圧力センサ19を取り付ける。それぞれの検出値を比較する第一比較器16と、始端側と終端側との圧力の減衰の許容値を設定する許容圧力範囲設定器17と、その設定器の設定値と前記第一比較器16の出力とを比較する第二比較器18を設ける。第二比較器18の出力によりサーボバルブ14を制御する。【効果】 従来のウエハ研磨装置における圧力設定精度がせいぜい 1.5%程度であったのに対し、 0.5%にまで高められる。従って、厚さが均一且つ表面平滑性の優れた、実用的にも工業的にも極めて望ましいウエハが得られる。

請求項（抜粋）：

流体を用いてウエハ-を下定盤に押圧し研磨加工を行うウエハ-研磨装置において、流体圧発生器からウエハ-加圧機構への流体供給管の流体圧力発生器側に始端圧力センサ-が、またウエハ-加圧機構側に終端圧力センサ-が取り付けられ、前記始端圧力センサ-及び終端圧力センサ-のそれぞれの検出値を比較する第一比較器と、前記流体供給管の始端側と終端側との圧力の減衰の許容値を設定する許容圧力範囲設定器と、前記許容圧力範囲設定器の設定値と前記第一比較器の出力とを比較する第二比較器を設けたことを特徴とする圧力が精密制御されるウエハ-研磨装置。

IPC (3件)：

B24B 37/00 ,  B24B 37/04 ,  H01L 21/304 321

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-256568
  
• 真空ユニツト
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-226310   出願人：エスエムシー株式会社
• 特開平4-256568