半導体部品のためのスクラッチ耐性コーティング

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本秀策
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-514362
公開番号（公開出願番号）：特表2003-506672
出願日： 2000年08月02日
公開日（公表日）： 2003年02月18日
要約：

【要約】本発明は、とりわけ指紋センサーのための、表面のパシベーションのスクラッチ耐性を強化することを目的とする。そのために、油脂、油、界面活性剤および/またはワックスからなる平滑層が付与される。平滑層はせん断力を低減する。好適には、水、パラフィンオイル、プロピルグリコール、ステアリン酸、パルミチン酸、TEA、蜜蝋、カーボマー954、メチルパラベン、プロピルパラベン、および場合によっては香料を含むエマルジョンが適切である。

請求項（抜粋）：

油脂、油、界面活性剤およびワックスの群からの材料の組み合わせから平滑層として形成され、スクラッチおよび機械的磨耗に対して保護を提供する表面コーティングを有する半導体部品であって、該平滑層の上面は、指球のために設けられた指紋センサーの支持面を形成する、半導体部品。

IPC (4件)：

G01B 7/28 , H01L 23/29 , H01L 23/31 , A61B 5/117

FI (3件)：

G01B 7/28 Z , H01L 23/30 D , A61B 5/10 322

Fターム (11件)：

2F063AA43 , 2F063BA29 , 2F063CA30 , 2F063DA02 , 2F063DA05 , 2F063DD07 , 2F063HA04 , 2F063HA10 , 4C038FF01 , 4C038FG00 , 4M109EC14

引用特許：

審査官引用 (15件)

特開平4-231803
磁気記録媒体、磁性合金膜及びスパッタリングターゲット
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-267470 出願人：昭和電工株式会社
電界指紋センサ装置および関連方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-012980 出願人：ハリス・コーポレーション

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