特許
J-GLOBAL ID：200903098759212296

水処理方法および水処理装置

発明者：
小島 泉里

小島 泉里 について

, 
佐藤 典子

佐藤 典子 について


出願人/特許権者：
野村マイクロ・サイエンス株式会社

野村マイクロ・サイエンス株式会社 について


代理人 (1件)： 須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-026163
公開番号（公開出願番号）：特開平11-114584
出願日： 1998年02月06日
公開日（公表日）： 1999年04月27日
要約：
【要約】【課題】 過酸化水素併用オゾン酸化において、半導体の洗浄工程で用いられた洗浄水、市水および工業用水等の原水中に含有された有機物(TOC)を高効率で分解し、該TOCがほぼ除去された純水を製造することができる水処理方法を提供すること。【解決手段】 被処理水に過酸化水素を添加するとともにオゾンを10ppm以上の濃度に溶解させて被処理水中に溶解させる有機物を酸化分解し、さらにこの有機物を酸化分解させる工程を経た被処理水に対してイオン交換を実行して有機物の酸化分解により生成した生成物を処理水より除去する。
請求項（抜粋）：
被処理水に過酸化水素を添加するとともにオゾンを10ppm以上の濃度に溶解させて被処理水中に溶解させる有機物を酸化分解する工程と、 前記有機物を酸化分解させる工程を経た被処理水に対してイオン交換を実行する工程と、を具備したことを特徴とする水処理方法。
IPC (4件)：
C02F 1/72 ,  C02F 1/28 ,  C02F 1/42 ,  C02F 1/78
FI (5件)：
C02F 1/72 Z ,  C02F 1/28 D ,  C02F 1/42 B ,  C02F 1/42 A ,  C02F 1/78
引用特許：
出願人引用 (7件)
  • 特開昭63-270596
  • 特開昭63-236591
  • 特開昭56-021686
全件表示
審査官引用 (8件)
  • 特公昭60-006718
  • 排水の高度処理方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-075894   出願人：三菱電機株式会社, 財団法人エンジニアリング振興協会
  • 特開昭63-270596
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM