特許
J-GLOBAL ID：200903058787369301
サンドブラスト用感光性樹脂組成物及びその用途
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
野崎 銕也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-364843
公開番号（公開出願番号）：特開平11-188631
出願日： 1997年12月22日
公開日（公表日）： 1999年07月13日
要約：
【要約】【課題】 ガラス、低融点ガラス、セラミック等の被加工基材に適用する際に感度、解像度、密着性に優れ、サンドブラスト用のマスク材として被加工基材に微細なパターンを歩留まりよく加工できる感光性樹脂組成物及び感光性樹脂積層体を提供する。【解決手段】 末端に水酸基を有するポリマーと、ポリイソシアネートと、活性水素を有する官能基とエチレン性不飽和結合を同時に有する化合物より得られるポリウレタンプレポリマーと、アルカリ可溶性高分子と、エチレン性不飽和付加重合性モノマーと、光重合開始剤を含有し、且つ特定のエチレン性不飽和結合濃度を有する感光性樹脂組成物、及び支持体、前記感光性樹脂組成物、保護層を順次積層してなる感光性樹脂積層体。
請求項（抜粋）：
(i)末端に水酸基を有するポリマーと、ポリイソシアネートと、活性水素を有する官能基とエチレン性不飽和結合を同時に有する化合物より得られるポリウレタンプレポリマーと、(ii)アルカリ可溶性高分子化合物と、(iii)エチレン性不飽和付加重合性モノマーと、(iv)光重合開始剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物において、該感光性樹脂組成物のエチレン性不飽和結合濃度が5.0×10-4〜3.0×10-3mol/gであるサンドブラスト用感光性樹脂組成物。
IPC (2件)：
B24C 1/04
, G03F 7/004 511
B24C 1/04 C
, G03F 7/004 511
