特許

J-GLOBAL ID：200903098809415940

高感度水晶振動子センサー

発明者： 芝上 基成 ,  土屋 俊二 ,  後藤 忠正
出願人/特許権者： 独立行政法人産業技術総合研究所 ,  株式会社カズテクニカ
代理人 (3件)： 福田 賢三 ,  福田 伸一 ,  福田 武通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-430195
公開番号（公開出願番号）：特開2005-189076
出願日： 2003年12月25日
公開日（公表日）： 2005年07月14日
要約：

【課題】 発振器の引き込み現象を用いて、高感度のQCMセンサーをさらに高感度化する。【解決手段】 引き込み現象により発信周波数の変化を増大させて高感度化を図るものであり、1)周波数1で発振する水晶振動子センサーヘッドと、2)その水晶振動子センサーヘッドの発振回路に、その周波数1の近傍の周波数2の信号を注入する構成と、3)その水晶振動子センサーヘッドの発振周波数とその注入された高周波信号とを混合して、その和周波数(周波数3)あるいはその差周波数(周波数4)をもった信号を選択する手段と、4)前記の和周波数あるいは差周波数の信号の周波数を計測する手段と、5)周波数2は、周波数1よりも小さく、引き込み現象によって周波数1が変化する程度に近傍にある構成と、を、備え、6)周波数1を計測するか、あるいは、周波数3あるいは周波数4と周波数2とから周波数1を求める様にする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

1)周波数1で発振する水晶振動子センサーヘッドと、2)その水晶振動子センサーヘッドの発振回路に、その周波数1の近傍の周波数2の信号を注入する構成と、3)その水晶振動子センサーヘッドの発振周波数とその注入された高周波信号とを混合して、その和周波数(周波数3)あるいはその差周波数(周波数4)をもった信号を選択する手段と、4)前記の和周波数あるいは差周波数の信号の周波数を計測する手段と、5)周波数2は、周波数1よりも小さく、引き込み現象によって周波数1が変化する程度に近傍にある構成と、を、備え、6)周波数1を計測するか、あるいは、周波数3あるいは周波数4と周波数2とから周波数1を求めることを特徴とする高感度水晶振動子センサー。

IPC (1件)：

G01N5/02

FI (1件)：

G01N5/02 A

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 温度補償機能付ガスセンサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-227074   出願人：日本電信電話株式会社
• 特開平4-117048
  
• 特開平3-140838
  

審査官引用 (2件)

• 温度補償機能付ガスセンサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-227074   出願人：日本電信電話株式会社
• 特開平4-117048