特許
J-GLOBAL ID：200903098830370930
サーマルインクジェットプリンタの発熱抵抗体及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大菅 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-192361
公開番号（公開出願番号）：特開2000-289207
出願日： 1999年07月06日
公開日（公表日）： 2000年10月17日
要約：
【要約】【課題】十分な抵抗率を備えキャビテーションにも耐性があって保護膜無しで実用に耐え得る使用寿命の長いサーマルインクジェットプリンタの発熱抵抗体を提供する。【解決手段】Ta板に所定の量のSiを埋め込んだ又はSiO<SB>2 </SB>を焼結したターゲットを用いてスパッタリングを行う。基板の温度を約200°Cとし、成膜速度を約20Å/minとする。この後、400°Cで10分間の熱処理(アニール)を行い、Si基板11上に厚さ2400ÅのTa-Si-O系の薄膜(発熱抵抗体膜)を得る。このTa-Si-O系の薄膜26の組成はSiとTaのモル比Si/Taが0.35<Si/Ta≦0.75で、Oのモル%が25モル%≦O≦55モル%であり、抵抗率が3mΩcm以上で、耐キャビテーション性に優れており、保護膜を必要としない。
請求項（抜粋）：
基板上に複数個設けられ、発熱部に供給されたインクとの界面に発熱により気泡を発生させて、対応するノズル孔からインク滴を吐出するサーマルインクジェットプリンタの発熱部を形成する発熱抵抗体であって、実質的にTaとSiとOを成分元素とし、SiとTaのモル比R=Si/Taが「0.35≦R≦0.75」で且つOのモル%Mが「25%≦M≦55%」であることを特徴とする発熱抵抗体。
IPC (3件)：
B41J 2/05
, B41J 2/16
, H01C 7/00
B41J 3/04 103 B
, H01C 7/00 W
, B41J 3/04 103 H
2C057AF03
, 2C057AF24
, 2C057AF54
, 2C057AF65
, 2C057AF91
, 2C057AF93
, 2C057AG14
, 2C057AG46
, 2C057AP02
, 2C057AP13
, 2C057AP14
, 2C057AP22
, 2C057AP32
, 2C057AP33
, 2C057AQ02
, 2C057AQ03
, 2C057BA04
, 2C057BA13
, 5E033AA02
, 5E033BB05
, 5E033BC07
, 5E033BG02
