特許
J-GLOBAL ID：200903046398244899

サーマルヘッドおよびその製造方法

発明者：
対馬 登

対馬 登 について

, 
樋口 知行

樋口 知行 について


出願人/特許権者：
アルプス電気株式会社

アルプス電気株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-029893
公開番号（公開出願番号）：特開平9-201994
出願日： 1996年01月24日
公開日（公表日）： 1997年08月05日
要約：
【要約】【課題】 グレーズ層の上面に、Ta-SiO2 等の材料からなる発熱抵抗体の発熱部が形成されるとともに、この発熱部両側にMo等の材料からなる下部電極が形成されるものであり、この下部電極に使用される高融点金属材料は、一般的に応力が大きくなりやすく、また酸化膜に対する密着性の悪いものが多く、下部電極とグレーズ層との密着が著しく低下してしまうという課題があった。【解決手段】 単結晶Siを部分的に凸があるように加工した良熱伝導性基板1に、Ta-Siを主成分とする熱絶縁層2が積層され、この熱絶縁層2の突出部分の上面にはMo、W、Nb、Ti等の高融点金属材料からなり各発熱抵抗体の形成位置に下部電極8が形成され、熱絶縁層2と下部電極8との間には、Ta-SiO2、Nb-SiO2、Cr-SiO2、SiO2等の材料からなる接着層10が形成されている。
請求項（抜粋）：
良熱伝導性基板上に熱絶縁層を形成し、この熱絶縁層上に複数の発熱抵抗体を形成し、対応する発熱抵抗体に接続される複数の個別電極および前記各発熱抵抗体にそれぞれ接続される共通電極を形成するとともに、前記個別電極および共通電極を、前記熱絶縁層と前記発熱抵抗体との間に位置する下部電極と、前記発熱抵抗体上に位置する上部電極とにより形成してなるサーマルヘッドであって、前記下部電極と前記熱絶縁層との間に接着層を形成したことを特徴とするサーマルヘッド。
FI (3件)：
B41J 3/20 111 D ,  B41J 3/20 111 E ,  B41J 3/20 111 H
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (16件)
  • 特開平2-214671
  • 特開昭57-178878
  • 特開平3-208671
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