マスク治具の洗浄方法及び洗浄装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：八木秀人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-281964
公開番号（公開出願番号）：特開2001-104895
出願日： 1999年10月01日
公開日（公表日）： 2001年04月17日
要約：

【要約】【課題】確実にマスク治具の洗浄を行うことができ、かつ環境上の問題がなく、しかもランニングコストが低いマスク治具洗浄方法及び洗浄装置の提供。【解決手段】塗料6よって塗膜8の形成を行う部材の非塗装面を被覆するために繰り返し使用されるマスク治具1を、洗浄液2で洗浄する工程中に、少なくとも、(ア)界面活性剤を含有する前記洗浄液2を前記マスク治具1に吹き付けて、マスク治具1の表面に前記界面活性剤膜4を形成する剥離膜形成工程(b)と、(イ)剥離膜形成工程(b)を経て行われる塗装工程(c)後に、前記洗浄液2を前記マスク治具1(1a)に吹き付けて、前記界面活性剤膜4とともに前記塗料6(塗膜8)を剥落させるように洗い落とす洗浄工程(e)と、を設ける。

請求項（抜粋）：

塗料によって塗膜形成を行う部材の非塗装面を被覆するために繰り返し使用されるマスク治具を洗浄液で洗浄する方法であって、少なくとも、次の(ア)、(イ)の工程を含むことを特徴とするマスク治具洗浄方法。(ア)界面活性剤を溶解する前記洗浄液を前記マスク治具に吹き付けて、該マスク治具表面に前記界面活性剤膜を形成する剥離膜形成工程。(イ)前記剥離膜形成工程に続いて行われる塗装工程後に、前記洗浄液を前記マスク治具に吹き付けて、該マスク治具に付着した前記塗料を前記界面活性剤膜とともに洗い落とす洗浄工程。

IPC (3件)：

B08B 3/04 , B08B 3/08 , B05D 1/32

FI (3件)：

B08B 3/04 A , B08B 3/08 A , B05D 1/32 E

Fターム (21件)：

3B201AA46 , 3B201BA06 , 3B201BB22 , 3B201BB24 , 3B201BB82 , 3B201BB94 , 4D075AA01 , 4D075AA39 , 4D075AA72 , 4D075AA74 , 4D075AD16 , 4D075BB65Z , 4D075BB93Z , 4D075CA48 , 4D075DA23 , 4D075DB02 , 4D075DC13 , 4D075EA05 , 4D075EC01 , 4D075EC30 , 4D075EC35

引用特許：

審査官引用 (6件)

硬化前塗膜剥離用水性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-269468 出願人：株式会社ネオス
薄膜の除去方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-166512 出願人：旭硝子株式会社
特開昭49-101424

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