表示装置及びその欠陥修復方法

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：森岡正樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-329804
公開番号（公開出願番号）：特開2001-147649
出願日： 1999年11月19日
公開日（公表日）： 2001年05月29日
要約：

【要約】【課題】表示装置の製造工程において発生した層間短絡や同層短絡などの欠陥を従来よりも高い成功率で容易に修復して良品化することができる表示装置及びその欠陥修復方法を提供することを目的とする。【解決手段】1回目のレーザ照射として、ドレインバスライン220がゲートバスライン218を完全に覆っている部分にスリットS1を形成してレーザ照射を行い、図5(b)に示すように、層間短絡290の隣にドレインバスライン220の交差部を2つに裂くようなゲートバスライン218の幅よりも長い切断部を形成する。次に図5(c)に示すように、第2回目及び第3回目のレーザ照射として、それぞれスリットS2、S3でドレインバスライン220内の切断部(S1で示す)両端部を切断して、ドレインバスライン220の層間短絡290を孤立させる。

請求項（抜粋）：

基板上に画素領域が形成された表示装置の欠陥修復方法において、複数の導電層が絶縁層を挟んで積層された積層領域に対してレーザ光を照射して、前記積層領域に層間短絡あるいは同層短絡が生じないように前記積層領域近傍の上層の導電層だけを選択的に除去する工程を含むことを特徴とする欠陥修復方法。

IPC (4件)：

G09F 9/00 352 , B23K 26/00 , G02F 1/1345 , H01L 29/786

FI (4件)：

G09F 9/00 352 , B23K 26/00 C , G02F 1/1345 , H01L 29/78 612 A

Fターム (37件)：

2H092JA26 , 2H092JA29 , 2H092JA38 , 2H092JA42 , 2H092JA44 , 2H092JB13 , 2H092JB23 , 2H092JB32 , 2H092JB33 , 2H092JB38 , 2H092JB51 , 2H092JB57 , 2H092JB63 , 2H092JB69 , 2H092JB72 , 2H092JB73 , 2H092KA12 , 2H092KA16 , 2H092KA18 , 2H092MA47 , 2H092NA25 , 2H092NA29 , 4E068AC00 , 4E068DA09 , 5F110AA27 , 5F110BB01 , 5F110EE01 , 5F110EE03 , 5F110EE04 , 5F110EE15 , 5G435AA17 , 5G435EE33 , 5G435FF05 , 5G435HH12 , 5G435HH14 , 5G435KK05 , 5G435KK10

引用特許：

出願人引用 (8件)

特開平3-069914
特開昭63-221325
液晶表示基板の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-277984 出願人：株式会社日立製作所

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審査官引用 (9件)

アクティブ・マトリックスLCDパネル自動検査修理装置と方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-181598 出願人：フォトン・ダイナミクス・インコーポレーテッド
特開平3-069914
特開昭61-207035

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