特許
J-GLOBAL ID：200903098897531300
静電型電気音響変換素子用振動膜の製造方法、振動膜およびこの振動膜を具備する静電型電気音響変換素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-360637
公開番号（公開出願番号）：特開2001-177899
出願日： 1999年12月20日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：
【要約】【課題】 耐熱性に優れる振動膜をエレクトレット化材料被膜と共に一挙に形成する生産性の高い静電型電気音響変換素子用振動膜の製造方法、振動膜およびこの振動膜を具備する静電型電気音響変換素子を提供する。【解決手段】 金属材料基板11の一方の表面にニッケル薄膜12を形成し、ニッケル薄膜12の表面にエレクトレット化材料被膜31を成膜形成し、金属材料基板11の他方の表面の部分領域131をエッチング除去してニッケル薄膜12を露出し、露出したニッケル薄膜12に振動膜リング15を接合し、振動膜リング15の外周面に沿って金属材料基板11を打ち抜くことを特徴とする静電型電気音響変換素子用振動膜、その製造方法およびこの振動膜を具備する静電型電気音響変換素子。
請求項（抜粋）：
金属材料基板の一方の表面にニッケル薄膜を成膜形成し、ニッケル薄膜の表面にエレクトレット化材料被膜を成膜形成し、金属材料基板の他方の表面の部分領域をエッチング除去してニッケル薄膜を露出し、露出したニッケル薄膜に振動膜リングを接合し、振動膜リングの外周面に沿って金属材料基板を打ち抜くことを特徴とする静電型電気音響変換素子用振動膜の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H04R 31/00 C
, H04R 19/01
