特許
J-GLOBAL ID：200903098905936587
移動ステージ制御装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-158754
公開番号（公開出願番号）：特開平8-328661
出願日： 1995年06月02日
公開日（公表日）： 1996年12月13日
要約：
【要約】【目的】 移動ステージ制御装置において、簡便な構成により、装置の高速化、高精度化を図る。【構成】 移動ステージ101に推力を付与する第1の推力発生手段104,105、移動ステージの現在位置をフィードバック信号として前記推力発生手段を制御することにより前記移動ステージの位置を制御する位置制御手段119,120、前記移動ステージに対して気体の圧力により推力を付与する第2の推力発生手段106、ならびに、前記移動ステージの重量とバランスする推力を前記移動ステージに付与すべく前記気体の圧力を制御する圧力制御手段121,122,123を備えた移動ステージ制御装置において、前記位置制御手段は、前記フィードバック信号に基づいて前記圧力制御手段に圧力指令信号を付与して前記移動ステージを前記第2推力発生手段のみにより所定位置に位置決めするとともに、位置決め後の前記圧力指令信号の値を記憶し、その後、その記憶した値に基づいて前記圧力制御手段を制御するとともに、前記フィードバック信号に基づいて前記第1推力発生手段を制御するものである。
請求項（抜粋）：
重力方向に移動可能に設けられた移動ステージ、この移動ステージに推力を付与する第1の推力発生手段、前記移動ステージの位置を検出する位置検出手段、この移動ステージの現在位置をフィードバック信号として前記推力発生手段を制御することにより前記移動ステージの位置を制御する位置制御手段、前記移動ステージに対して気体の圧力により推力を付与する第2の推力発生手段、ならびに、前記移動ステージの重量とバランスする推力を前記移動ステージに付与すべく前記気体の圧力を制御する圧力制御手段を備えた移動ステージ制御装置において、前記位置制御手段は、前記フィードバック信号に基づいて前記圧力制御手段に圧力指令信号を付与して前記移動ステージを前記第2推力発生手段のみにより所定位置に位置決めするとともに、位置決め後の前記圧力指令信号の値を記憶し、その後、その記憶した値に基づいて前記圧力制御手段を制御するとともに、前記フィードバック信号に基づいて前記第1推力発生手段を制御するものであることを特徴とする移動ステージ制御装置。
IPC (3件)：
G05D 3/00
, B23Q 15/24
, H01L 21/68
G05D 3/00 A
, B23Q 15/24
, H01L 21/68 K
, H01L 21/68 F
