特許

J-GLOBAL ID：200903098906898409

ポリッシング装置

発明者： 相澤 英夫 ,  伊藤 賢也
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-165153
公開番号（公開出願番号）：特開平10-340872
出願日： 1997年06月06日
公開日（公表日）： 1998年12月22日
要約：

【要約】【課題】 同一建家内に収容した研磨装置や洗浄装置といった各種装置のメンテナンスの便を図る。【解決手段】 被研磨材の研磨面を化学機械的に研磨する研磨装置10a,10b,22a,22bを備えたポリッシング装置において、内部空間を複数の部屋に分割し、同一建家内に複数の部屋R1〜R5を構成し、各部屋の壁の一部に開閉自在なドア60a〜60gを設けたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

被研磨材の研磨面を化学機械的に研磨する研磨装置を備えたポリッシング装置において、内部空間を複数の部屋に分割し、各部屋の壁の一部には、開閉自在なドアが設けられていることを特徴とするポリッシング装置。

IPC (3件)：

H01L 21/304 321 ,  H01L 21/304 ,  B24B 37/00

FI (3件)：

H01L 21/304 321 Z ,  H01L 21/304 321 E ,  B24B 37/00 Z

引用特許：

出願人引用 (2件)

• ポリッシング装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-295163   出願人：東芝機械株式会社, 株式会社東芝
• ポリッシング装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-238505   出願人：株式会社荏原製作所

審査官引用 (2件)

• ポリッシング装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-295163   出願人：東芝機械株式会社, 株式会社東芝
• ポリッシング装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-238505   出願人：株式会社荏原製作所