クリーンルーム

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中島淳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-303884
公開番号（公開出願番号）：特開2001-124386
出願日： 1999年10月26日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
要約：

【要約】【課題】広いクリーンルーム内で、発塵、発熱の分布があったり、その分布が変動したりしても、清浄度、温度分布を均一に制御することが可能で、小型空調機による循環風量で足りるクリーンルームを提供することを課題とする。【解決手段】ドライコイル92により、空気の温度を、例えば露点温度に達しない程度にまで下げる。この空気の温度は従来に比べて低く、クリーンゾーンユニット58のファン72によりフィルタ70を経由して、クリーンエリアの各エリアへ個別に吹き出される。所定エリア内の製造装置等の発熱負荷が所定外エリアに比べて少ない場合、所定エリアのエリア毎に設けられた短絡送風手段によりエリア内の空気を個別エリア用チャンバに還流させて送ることができる。これにより、所定エリアでは、クリーンゾーンユニット58から送風される清浄な空気の温度が所定外エリアに比べて高く、従来に比べて少ない循環風量でクリーンエリア内の温度分布を均一にすることができる。

請求項（抜粋）：

クリーンエリアの天井の吹出口に設けられた清浄手段と、クリーンエリアの吸込口から空気を排出して前記清浄手段へ空気を循環させる循環手段と、クリーンエリアの吸込口から前記循環手段へ排出された空気を所定の温湿度に空調する空調手段と、を有するクリーンルームにおいて、前記空調手段で空調する空気の温度を、前記クリーンエリアの熱負荷処理可能な温度にまで下げる空調制御手段と、前記清浄手段の上流側にそれぞれ設けられ、前記循環手段により送風された空気を前記清浄手段を経由させてクリーンエリアの各エリアに個別に吹き出す個別エリア用送風手段と、エリア内の空気の一部を前記個別エリア用送風手段に還流させる短絡送風手段と、を有することを特徴とするクリーンルーム。

IPC (4件)：

F24F 11/02 102 , F24F 3/044 , F24F 7/007 , F24F 7/06

FI (4件)：

F24F 11/02 102 P , F24F 3/044 , F24F 7/007 B , F24F 7/06 C

Fターム (18件)：

3L053BB01 , 3L053BB04 , 3L053BB10 , 3L056BD02 , 3L056BE01 , 3L056BF04 , 3L058BD01 , 3L058BE02 , 3L058BF01 , 3L058BF06 , 3L058BG01 , 3L058BG03 , 3L058BG04 , 3L060AA08 , 3L060CC02 , 3L060DD02 , 3L060EE21 , 3L060EE24

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平3-244944
チャンバー付きファンフィルターユニット及びクリーンルーム
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-101149 出願人：日立プラント建設株式会社
特開平3-271645

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