特許
J-GLOBAL ID：200903098975116668

回折格子の製造方法

発明者：
服部 正

服部 正 について

, 
野田 大二

野田 大二 について


出願人/特許権者：
兵庫県

兵庫県 について


代理人 (1件)： 桂川 直己
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-007044
公開番号（公開出願番号）：特開2009-169098
出願日： 2008年01月16日
公開日（公表日）： 2009年07月30日
要約：
【課題】 X線タルボ干渉計を構成する位相型回折格子及び振幅型回折格子を安定的に供給可能な製造方法を提供する。【解決手段】基板6に形成されているネガ型のX線感光性樹脂30に、X線透過部とX線吸収部とを備えるX線マスク31を用いてX線を照射する。そして、前記X線透過部を通過したX線、及び、前記X線吸収部を通過することによって通過前の1/50以上1/10以下となるように強度が低下したX線によって、X線感光性樹脂30を露光する(露光工程)。そして、非露光部分34を除去することによって、基板上に樹脂壁36を形成するとともに、隣り合う樹脂壁36の先端同士を接続する膜状の架橋部35を形成する(現像工程)。その後、前記架橋部35を除去するとともに(除去工程)、電鋳法により、前記樹脂壁と樹脂壁との間にX線吸収金属部11を形成する(電解メッキ工程)。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
X線タルボ干渉計に用いられる回折格子の製造方法において、 基板に形成されているネガ型の感光性樹脂に、照射線透過部と照射線吸収部とを備えるマスク部を用いて照射線を照射し、前記照射線透過部を通過した照射線、及び、前記照射線吸収部を通過することにより通過前の1/50以上1/10以下となるように強度が低下した照射線によって前記感光性樹脂を露光する露光工程と、 前記感光性樹脂の非露光部分を除去することによって、樹脂壁を形成するとともに、隣り合う前記樹脂壁の先端同士を接続する膜状の架橋部を形成する現像工程と、 前記架橋部を除去する架橋部除去工程と、 を含むことを特徴とする回折格子の製造方法。
IPC (2件)：
G02B 5/18 ,  G03F 7/20
FI (2件)：
G02B5/18 ,  G03F7/20 503
Fターム (20件)：
2H049AA02 ,  2H049AA12 ,  2H049AA33 ,  2H049AA37 ,  2H049AA42 ,  2H049AA46 ,  2H049AA50 ,  2H049AA58 ,  2H049AA61 ,  2H097CA15 ,  2H097LA17 ,  2H249AA02 ,  2H249AA12 ,  2H249AA33 ,  2H249AA37 ,  2H249AA42 ,  2H249AA46 ,  2H249AA50 ,  2H249AA58 ,  2H249AA61
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (3件)

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