特許
J-GLOBAL ID：200903070140551825
X線タルボ干渉計に用いられる位相型回折格子と振幅型回折格子の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
梶 良之
, 須原 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-076921
公開番号（公開出願番号）：特開2006-259264
出願日： 2005年03月17日
公開日（公表日）： 2006年09月28日
要約：
【課題】 X線タルボ干渉計に用いられるX線位相型回折格子及びX線振幅型回折格子の製造方法を提案する。【解決手段】 両回折格子11・12とも、金属製の幅2μm以上10μm以下のX線吸収部111・121を2μm以上10μm以下で等間隔に並べた構成とし、X線吸収部111・121の幅w1,w2及び間隔g1,g2は、X線位相型回折格子とX線振幅型回折格子とで同一とする(w1=w2,g1=g2)。位相型回折格子11の厚みt1を1μm以上5μm以下に構成し、振幅型回折格子12の厚みt2を25μm以上100μm以下に構成する。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
X線タルボ干渉計に用いられる位相型回折格子と振幅型回折格子の製造方法であって、
両回折格子とも、金属製の幅2μm以上10μm以下のX線吸収部を2μm以上10μm以下の等間隔で並べた構成とし、X線吸収部の幅及び間隔は、位相型回折格子と振幅型回折格子とで同一とし、
位相型回折格子の厚みを1μm以上5μm以下に構成し、振幅型回折格子の厚みを25μm以上100μm以下に構成することを特徴とする、
位相型回折格子と振幅型回折格子の製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (6件)：
2H049AA02
, 2H049AA03
, 2H049AA37
, 2H049AA44
, 2H049AA46
, 2H049AA58
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (1件)
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