特許
J-GLOBAL ID:200903098994239517
電磁波シールド用透明部材とその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-340934
公開番号(公開出願番号):特開平11-243296
出願日: 1998年10月22日
公開日(公表日): 1999年09月07日
要約:
【要約】【課題】 優れた電磁波シールド性と透明性、更には視認性の付与された網の目状導電パターンを有する電磁波シールド用透明部材とその製造方法の提供。【解決の手段】 前記部材は、透明基体(1)上にTt50%以上になるように、網の目導電パターンがスパッタリング等による銅薄膜層(100〜2000Å)とメッキによる銅厚膜層(1〜10μm)とが順次積層されてなっていて、かつ該パターンの有する電気抵抗値が200mΩ/□以下というものである。そして、更に該パターンの表面は、酸化銅,硫化銅によって褐色から黒色に着色されている。該部材は例えばPETフィルムを基体として、まず銅薄膜層を形成し、次にフォトリソグラフィ法によって網の目パターンを露出し、この露出部分に銅を電解メッキし、非パターン部分の残存レジストを除去し、最後に、全面を化学エッチングして非パターン部分の銅薄膜層を除去する。
請求項(抜粋):
透明基体(1)上に、全光線透過率50%以上になるように、網の目導電パターンが物理的薄膜形成手段による銅又はその合金薄膜層(2)とメッキ手段による銅厚膜層(4)との順次積層にて形成されていて、かつ該導電パターンの有する電気抵抗値が200mΩ/□以下であることを特徴とする電磁波シールド用透明部材。
IPC (7件):
H05K 9/00
, B32B 7/02 103
, B32B 7/02 104
, B32B 15/08
, C23C 14/14
, C23C 26/00
, C25D 3/38
FI (7件):
H05K 9/00 V
, B32B 7/02 103
, B32B 7/02 104
, B32B 15/08 E
, C23C 14/14 D
, C23C 26/00 F
, C25D 3/38
引用特許:
審査官引用 (12件)
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特開平1-170098
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電磁波シールドプラスチック成形品
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-298940
出願人:東京イングス株式会社, 村山洋一
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透光性電磁波シールド材料とその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-158056
出願人:日本写真印刷株式会社
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電磁波シールド用透明部材とその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-257570
出願人:グンゼ株式会社
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電磁波シールド用透明部材
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-154428
出願人:グンゼ株式会社
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特開昭61-063088
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特開平2-058293
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特開平1-321687
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特開平1-170098
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特開昭61-063088
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特開平2-058293
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特開平1-321687
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