電磁波シールド用透明部材とその製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-340934
公開番号（公開出願番号）：特開平11-243296
出願日： 1998年10月22日
公開日（公表日）： 1999年09月07日
要約：

【要約】【課題】優れた電磁波シールド性と透明性、更には視認性の付与された網の目状導電パターンを有する電磁波シールド用透明部材とその製造方法の提供。【解決の手段】前記部材は、透明基体(1)上にTt50%以上になるように、網の目導電パターンがスパッタリング等による銅薄膜層(100〜2000Å)とメッキによる銅厚膜層(1〜10μm)とが順次積層されてなっていて、かつ該パターンの有する電気抵抗値が200mΩ/□以下というものである。そして、更に該パターンの表面は、酸化銅,硫化銅によって褐色から黒色に着色されている。該部材は例えばPETフィルムを基体として、まず銅薄膜層を形成し、次にフォトリソグラフィ法によって網の目パターンを露出し、この露出部分に銅を電解メッキし、非パターン部分の残存レジストを除去し、最後に、全面を化学エッチングして非パターン部分の銅薄膜層を除去する。

請求項（抜粋）：

透明基体(1)上に、全光線透過率50%以上になるように、網の目導電パターンが物理的薄膜形成手段による銅又はその合金薄膜層(2)とメッキ手段による銅厚膜層(4)との順次積層にて形成されていて、かつ該導電パターンの有する電気抵抗値が200mΩ/□以下であることを特徴とする電磁波シールド用透明部材。

IPC (7件)：

H05K 9/00 , B32B 7/02 103 , B32B 7/02 104 , B32B 15/08 , C23C 14/14 , C23C 26/00 , C25D 3/38

FI (7件)：

H05K 9/00 V , B32B 7/02 103 , B32B 7/02 104 , B32B 15/08 E , C23C 14/14 D , C23C 26/00 F , C25D 3/38

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開平1-170098
電磁波シールドプラスチック成形品
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-298940 出願人：東京イングス株式会社, 村山洋一
透光性電磁波シールド材料とその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-158056 出願人：日本写真印刷株式会社

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