特許
J-GLOBAL ID：200903099018266093
フッ化物結晶からなる真空紫外領域用光学部材および光学部材用コーティング材
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後藤 洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-031172
公開番号（公開出願番号）：特開2002-228802
出願日： 2001年02月07日
公開日（公表日）： 2002年08月14日
要約：
【要約】【課題】 潮解性、劈開性が低く、高エネルギー光を照射した場合でも、高い耐久性を有する真空紫外領域用光学部材を提供すること。【解決手段】 式BaLiF3で表記されるフッ化物結晶から真空紫外領域用光学部材を作る。このフッ化物結晶から光学部材用コーティング材を作ることもできる。
請求項（抜粋）：
式BaLiF3で表記される結晶からなる真空紫外領域用光学部材。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (4件)：
4G077AA02
, 4G077BE02
, 4G077CF10
, 4G077HA01
