特許

J-GLOBAL ID：200903099021709893

空気圧変化検出モジュール

発明者： 村山 勇樹 ,  佐藤 崇志 ,  橋口 敢 ,  田村 幸稔
出願人/特許権者： 住友金属鉱山株式会社
代理人 (1件)： 上田 章三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-083337
公開番号（公開出願番号）：特開平10-260098
出願日： 1997年03月17日
公開日（公表日）： 1998年09月29日
要約：

【要約】【課題】 耐電磁ノイズ特性が良好で小型化に適しかつ組み立て工数の低減も図れる空気圧変化検出モジュールを提供すること。【解決手段】 空気圧変化検出器とこの検出器からの信号を増幅するバンドパスフィルタ5を基板2上に備え、かつ、空気圧変化検出器が通気孔を有する容器と、この容器内に設けられた焦電素子3と、FET41とリーク抵抗器42から成り焦電素子からの信号を取出すインピーダンス変換回路4とでその主要部を構成する空気圧変化検出モジュール1であって、上記基板上に焦電素子とインピーダンス変換回路を直接実装すると共に、上記容器を用いることなく通気孔80が設けられた電磁シールド蓋材8を上記基板に冠着させ、少なくとも焦電素子とインピーダンス変換回路及びバンドパスフィルタについて電磁シールドしたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

空気圧変化検出器と、この検出器からの出力信号を増幅する増幅機能とフィルタ機能を有するバンドパスフィルタと、増幅された出力信号から空気圧変化の有無を検出する比較器とを基板上に備え、かつ、上記空気圧変化検出器が、通気孔を有する容器と、この容器内に設けられた圧電素子若しくは焦電素子と、電界効果型トランジスタとリーク抵抗器から成り上記圧電素子若しくは焦電素子からの空気圧変化に対応した信号を取り出すインピーダンス変換回路とでその主要部を構成する空気圧変化検出モジュールにおいて、バンドパスフィルタと比較器が実装される上記基板上に、直接若しくは素子基板を介し圧電素子若しくは焦電素子と上記インピーダンス変換回路を実装すると共に、上記容器を用いることなく通気孔が設けられた電磁シールド蓋材を上記基板に冠着させ、少なくとも圧電素子若しくは焦電素子とインピーダンス変換回路及びバンドパスフィルタについて上記電磁シールド蓋材により電磁シールドしたことを特徴とする空気圧変化検出モジュール。

IPC (2件)：

G01L 7/00 ,  G01L 9/08

FI (2件)：

G01L 7/00 K ,  G01L 9/08

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 高感度圧力センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-099468   出願人：住友金属鉱山株式会社