特許
J-GLOBAL ID：200903099044889392
研磨装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
綿貫 隆夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-174603
公開番号（公開出願番号）：特開平9-029618
出願日： 1995年07月11日
公開日（公表日）： 1997年02月04日
要約：
【要約】【目的】 ワーク全面を均一に研磨し、ワーク表面の平坦度を向上できる研磨装置を提供すること。【構成】 ワークを保持する保持部41aと、表面に研磨面が形成された定盤と、保持部41aと定盤とを相対的に運動させる運動機構とを備える研磨装置において、保持部41aが、下方に向けて開放する凹部を備えるヘッド部材10と、ヘッド部材10の凹部内側に配された保持プレート12と、保持プレート12を上下方向及び水平方向への移動を微小範囲内で許容可能に吊持する板状の弾性部材14と、保持プレート12および板状の弾性部材14によって画成して設けられる第1圧力室20と、保持プレート12の外面側に外周部で固定された弾性薄膜30と、保持部材プレート12および弾性薄膜30によって画成される第2圧力室32と、第1流体供給手段および第2流体供給手段とを備える。
請求項（抜粋）：
ワークを保持する保持部と、表面に研磨面が形成された定盤と、前記保持部と定盤とを相対的に運動させる運動機構とを備える研磨装置において、前記保持部が、下方に向けて開放する凹部を備えるヘッド部材と、該ヘッド部材の凹部内側に配された保持部材と、外側部が前記ヘッド部材の壁部に固定されると共に、内側部が前記保持部材に固定され、該保持部材を上下方向及び水平方向への移動を微小範囲内で許容可能に吊持する弾性部材と、前記ヘッド部材の内部を前記保持部材および前記弾性部材によって画成して設けられる第1圧力室と、弾性のある薄膜からなり、前記保持部材の外面側に外周部で固定され、外側面でワークに当接して該ワークを前記定盤の研磨面へ押圧可能に設けられた弾性薄膜と、前記保持部材の外側面および前記弾性薄膜の内側面によって画成される第2圧力室とを備え、前記第1圧力室へは第1流体供給手段によって所定圧力の流体が供給され、前記第2圧力室へは第2流体供給手段によって所定圧力の流体が供給されることを特徴とする研磨装置。
IPC (2件)：
B24B 37/00
, H01L 21/304 321
B24B 37/00 C
, H01L 21/304 321 E
