特許

J-GLOBAL ID：200903099045291962

成膜装置用金属材料部材及びそれを用いた成膜装置

発明者： 鎌田 政智 ,  西尾 敏昭 ,  高野 暁己 ,  上野 茂一 ,  上戸 保廣
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 藤田 考晴 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-278696
公開番号（公開出願番号）：特開2002-093719
出願日： 2000年09月13日
公開日（公表日）： 2002年03月29日
要約：

【要約】【課題】 析出シリコンに対するアンカー効果に優れ、かつハロゲンエッチングガスに対する耐食性に優れた金属材料部材を提供し、あわせてそれらの部材を使用した生産性に高い成膜装置を提供する。【解決手段】 金属材料の表面を適正な表面粗さに加工することにより、析出シリコンに対する良好なアンカー効果とハロゲンエッチングガスに対する耐食性を兼ね備えた金属材料部材とし、成膜装置の温度環境に応じて最適な材質を選択して成膜装置を構成する。具体的には金属材料表面に表面積増加率で定義される値が1.1を超え4以下に相当する表面起伏付加処理を施したオーステナイト系ステンレス鋼、純ニッケル、ニッケル合金、純アルミニウム、アルミニウム合金が使用できる。これらの材料を環境温度に応じて適材適所に使用して成膜装置を構成する。

請求項（抜粋）：

金属材料の表面に、表面増加率で定義される値が1.1を超え4以下に相当する表面起伏付加処理を施したことを特徴とする成膜装置用金属材料部材。

IPC (5件)：

H01L 21/205 ,  C23C 14/00 ,  C23C 16/44 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/363

FI (6件)：

H01L 21/205 ,  C23C 14/00 B ,  C23C 16/44 J ,  H01L 21/203 Z ,  H01L 21/203 S ,  H01L 21/363

Fターム (43件)：

4K029DA01 ,  4K029DA02 ,  4K029DA04 ,  4K029DA08 ,  4K030EA11 ,  4K030KA09 ,  4K030KA14 ,  4K030KA22 ,  4K030KA46 ,  4K030KA47 ,  5F045AA08 ,  5F045AA18 ,  5F045AA19 ,  5F045AB04 ,  5F045AC01 ,  5F045AD05 ,  5F045AD06 ,  5F045AD07 ,  5F045AD08 ,  5F045BB15 ,  5F045CA13 ,  5F045EB03 ,  5F045EB05 ,  5F045EB06 ,  5F045EC05 ,  5F045EC07 ,  5F045EG01 ,  5F045EK07 ,  5F045EK08 ,  5F045EK24 ,  5F045EM09 ,  5F103AA01 ,  5F103AA08 ,  5F103BB25 ,  5F103BB32 ,  5F103BB45 ,  5F103BB46 ,  5F103BB52 ,  5F103BB57 ,  5F103DD16 ,  5F103GG03 ,  5F103LL04 ,  5F103PP01

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 成膜装置用構成部品及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-108165   出願人：日本真空技術株式会社