特許

J-GLOBAL ID：200903099078880483

光モジュール及びその製造方法

発明者： 松本 啓資 ,  渡辺 斉 ,  境野 剛
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 大岩 増雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-107238
公開番号（公開出願番号）：特開平8-304670
出願日： 1995年05月01日
公開日（公表日）： 1996年11月22日
要約：

【要約】【目的】 位置合わせなしに光導波路を形成できる光モジュールを得ることを目的としている。【構成】 半導体基板10に、レーザダイオード11を形成し、レーザ共振器端面13をドライエッチングにより形成したのち、第1〜第3の誘電体薄膜15、16、17を順次形成し、レーザダイオード11の発光部12を目印として、第1〜第3の誘電体薄膜を光導波路形状に加工する。【効果】 光に対する損失が小さい誘電体薄膜を用いて、光軸合わせの調整なしに光導波路が形成できる。

請求項（抜粋）：

半導体基板、この半導体基板に形成された発光部を有するレーザダイオード、このレーザダイオードの発光部に整列するように上記半導体基板に形成された誘電体光導波路を備えたことを特徴とする光モジュール。

IPC (5件)：

G02B 6/42 ,  G02B 6/122 ,  G02B 6/13 ,  H01L 31/0232 ,  H01S 3/18

FI (6件)：

G02B 6/42 ,  H01S 3/18 ,  G02B 6/12 B ,  G02B 6/12 M ,  H01L 31/02 C ,  H01L 31/02 D

引用特許：

審査官引用 (6件)

• 特開昭59-024807
  
• 石英系光導波路およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-247516   出願人：東海ゴム工業株式会社
• 特開平1-202882
  
• 特開昭60-089990
  
• 光集積回路
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-095455   出願人：富士通株式会社
• 特開昭57-084189