ふっ酸液の濃度測定のための自動前処理装置及びふっ酸液の自動供給装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：池内寛幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-221466
公開番号（公開出願番号）：特開2000-057953
出願日： 1998年08月05日
公開日（公表日）： 2000年02月25日
要約：

【要約】【課題】ガラスパネルの洗浄に使用するふっ酸洗浄液の濃度管理作業に自動分析装置を組む込むことにより、ふっ酸洗浄液の維持管理を自動化する。【解決手段】洗浄槽210a,210bに貯蔵されたふっ酸液を濾過するフィルタを有する自動前処理装置100a,100bと、前記濾過されたふっ酸液のふっ酸濃度を測定する濃度測定装置201と、前記測定されたふっ酸濃度に基づいて、所定濃度になるようにふっ酸新液供給タンク220に貯蔵されたふっ酸液を前記洗浄槽に供給する供給装置とを有する。

請求項（抜粋）：

ガラスの洗浄工程に使用するふっ酸液の濃度測定のための自動前処理装置であって、濃度測定に先だって前記ふっ酸液を濾過するフィルタと、前記フィルタを逆洗浄する逆洗浄装置とを有することを特徴とするふっ酸液の濃度測定のための自動前処理装置。

IPC (5件)：

H01J 9/38 , B08B 3/08 , B08B 5/02 , G01N 1/10 , H01J 9/42

FI (5件)：

H01J 9/38 A , B08B 3/08 Z , B08B 5/02 Z , G01N 1/10 B , H01J 9/42 A

Fターム (22件)：

3B116AA26 , 3B116BB02 , 3B116BB03 , 3B116CA00 , 3B116CC05 , 3B116CD22 , 3B116CD24 , 3B116CD42 , 3B116CD43 , 3B201AA26 , 3B201AB42 , 3B201BB02 , 3B201BB03 , 3B201BB96 , 3B201CB15 , 3B201CD22 , 3B201CD24 , 3B201CD42 , 3B201CD43 , 5C012AA02 , 5C012BD04 , 5C012BE01

引用特許：

審査官引用 (7件)

特許第2568071号
エッチング処理液の制御方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-199648 出願人：三菱化成株式会社
特公平8-018188

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