特許
J-GLOBAL ID：200903099119255920

角速度センサおよびその特性調整方法

発明者：
大廻 智正

大廻 智正 について

, 
坪ノ内 浩幸

坪ノ内 浩幸 について


出願人/特許権者：
松下電器産業株式会社

松下電器産業株式会社 について


代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-041336
公開番号（公開出願番号）：特開2002-243451
出願日： 2001年02月19日
公開日（公表日）： 2002年08月28日
要約：
【要約】【課題】 第1の振動体と第2の振動体との重量バランスを厳密に釣り合わせることが可能な出力特性の向上した角速度センサおよびその特性調整方法を提供することを目的とするものである。【解決手段】 第1の振動体21と第2の振動体26のいずれか一方、もしくは両方の稜線に表面粗さが2μm以下の研削部31bを設け、第1の振動体21と第2の振動体26との重量バランスを厳密に調整できることが可能な構成とした。
請求項（抜粋）：
駆動電極と検出電極のいずれか一方もしくは両方を設けた第1の振動体と、検出電極と駆動電極のいずれか一方もしくは両方を設けた第2の振動体と、前記第1の振動体の一端部と前記第2の振動体の一端部とを接続する接続部とを備え、前記第1の振動体と第2の振動体のいずれか一方もしくは両方の稜線に表面粗さが2μm以下の研削部を設けた角速度センサ。
IPC (4件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  G01P 21/02 ,  H01L 41/08
FI (4件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  G01P 21/02 ,  H01L 41/08 Z
Fターム (8件)：
2F105AA02 ,  2F105AA03 ,  2F105BB15 ,  2F105CC01 ,  2F105CC04 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06 ,  2F105CD11
引用特許：
審査官引用 (5件)
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