特許
J-GLOBAL ID：200903099161240364

電極基板、静電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド及びそれらの製造方法

発明者：
糸田 基樹

糸田 基樹 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (5件)： 小林 久夫 ,  安島 清 ,  佐々木 宗治 ,  大村 昇 ,  高梨 範夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-301990
公開番号（公開出願番号）：特開2007-105860
出願日： 2005年10月17日
公開日（公表日）： 2007年04月26日
要約：
【課題】基板の凹部内に形成される電極が高精度の階段状の段差部を有するように構成した電極基板及びその製造方法を提供する。【解決手段】基板に形成された凹部32内に電極31を形成してなる電極基板3において、電極31を階段状の段差部31a、31b、31c、31dを有するように電極材料を積層して構成された複数段の積層体から構成する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板に形成された凹部内に電極を形成してなる電極基板において、前記電極は階段状の段差部を有するように電極材料を積層して構成された複数段の積層体からなることを特徴とする電極基板。
IPC (6件)：
B81B 3/00 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  B81C 1/00 ,  H02N 1/00
FI (5件)：
B81B3/00 ,  B41J3/04 103A ,  B41J3/04 103H ,  B81C1/00 ,  H02N1/00
Fターム (17件)：
2C057AF55 ,  2C057AF93 ,  2C057AG15 ,  2C057AG54 ,  2C057AP02 ,  2C057AP22 ,  2C057AP25 ,  2C057AP28 ,  2C057AP31 ,  2C057AP33 ,  2C057AP52 ,  2C057AP53 ,  2C057AP57 ,  2C057AQ01 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA04 ,  2C057BA15
引用特許：
出願人引用 (2件)

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