フッ化金属単結晶体製造用引上げ装置および該装置を用いたフッ化金属単結晶体の製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-367481
公開番号（公開出願番号）：特開2006-199577
出願日： 2005年12月21日
公開日（公表日）： 2006年08月03日
要約：

【課題】フッ化金属単結晶体の口径にかかわらず、単結晶体内部に存在する散乱体の数が極めて少ないフッ化金属単結晶体を製造することが容易な引上げ装置、および該装置を用いたフッ化金属単結晶体の製造方法を提供する。【解決手段】フッ化金属単結晶育成炉を形成するチャンバー内に、外坩堝と該外坩堝内に収納されてなる内坩堝とからなる二重構造坩堝が設けられてなり、該二重構造坩堝における外坩堝と内坩堝の両内空部は一部連通しており、さらに、該二重構造坩堝は外坩堝に対する内坩堝の収納深さを連続的に変化させることが可能な構造の引上げ装置において、該単結晶体の育成に伴う内坩堝内の原料溶融液の減少に応じて、外坩堝に対する内坩堝の収納深さを深くしていき、引上げの開始当初から終了までを、内坩堝内の原料溶融液の液量を一定範囲の浅い状態に維持して引上げをおこなう。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

単結晶育成炉を形成するチャンバー内に、外坩堝と該外坩堝内に収納されてなる内坩堝とからなる二重構造坩堝が設けられてなり、該二重構造坩堝における外坩堝と内坩堝の両内空部は一部連通しており、さらに、該二重構造坩堝は外坩堝に対する内坩堝の収納深さを連続的に変化させることが可能であり、チャンバー内の上記内坩堝の内空部直上に、先端に種結晶体を装着して使用される、上下動が可能な単結晶引上げ棒が垂下する構造であることを特徴とするフッ化金属単結晶体製造用引上げ装置。

IPC (2件)：

C30B 15/12 , C30B 29/12

FI (2件)：

C30B15/12 , C30B29/12

Fターム (8件)：

4G077AA02 , 4G077BE02 , 4G077CF10 , 4G077EG01 , 4G077EH06 , 4G077HA01 , 4G077PD08 , 4G077PF15

引用特許：

出願人引用 (3件)

国際公開第02/077676号パンフレット
特願昭61-261288号公報
特願昭62-87489号公報

審査官引用 (6件)

フッ化金属用単結晶引き上げ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-383439 出願人：株式会社第一機電
特開昭63-295498
特開昭61-261288

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