顕微鏡の電磁放射線トランスミッタまたは電磁放射線検出装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西教圭一郎 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-509211
公開番号（公開出願番号）：特表平9-510296
出願日： 1995年09月05日
公開日（公表日）： 1997年10月14日
要約：

【要約】本発明は顕微鏡の電磁放射線のトランスミッタまたは検出装置、すなわちいわゆる近距離場プローブ(1)に関し、その本体は多面体の先端の形状を有し、使用されるスペクトル範囲の電磁放射線を少なくとも部分的に透過する材料からなる。多面体の先端はその境界が仮想底面Poによって定められ、本体の実質的部分は該仮想底面を越えて続き、詳細には限定されていないプローブ本体全体を形成する。前記多面体先端はn個の側面を有し、隣接し合った側面間には、鋭く尖った頂点に続く鋭角の稜Kikが形成される。本発明に従えば、多面体のプローブ(1)の本体の少なくとも2つの側面は、使用されるスペクトル範囲の電磁放射線を部分的に吸収する導電性の薄い層で被覆され、該導電性の被覆層は好適にはアルミニウム、金または銀などの材料からなり、0.2μmより小さい厚みを有する。多面体の先端(2)の前部も使用される前記材料で被覆されている。したがって、近距離場走査光学顕微鏡検査法において、比較的分解能の高い効果的な近距離場プローブが得られ、同時に同一の先端で走査トンネル顕微鏡検査法も可能である。

請求項（抜粋）：

本体が多面体の先端の形状を有し、使用されるスペクトル範囲の電磁放射線を少なくとも部分的に透過する材料からなり、多面体の先端はその境界が仮想底面Poによって定められ、本体の実質的部分は該仮想底面を越えて続き、詳細には限定されていないプローブ本体全体を形成し、前記多面体先端は、隣接し合った側面PiとPk間に鋭角の稜Kikが形成されるようにn個の側面Pj(j=1、...,n)を有し、かかる稜は鋭く尖った頂点に続き、近距離場プローブ(1)の先端(2)は、プローブの外部の空間に電磁放射を放射するための概ね点状の放射源として働き、または近距離場プローブの内部に電磁場を貫通させるための概ね点状のレシーバとして働き、多面体のプローブ(1)の本体kの少なくとも2つの側面Pj(i=1,...,n)は、使用されるスペクトル範囲の電磁放射線を部分的に吸収する導電性の薄い層で被覆され、該導電性の被覆層は好適にはアルミニウム、金または銀などの材料からなり、0.2μmより小さい厚みを有する、以下においては近距離場プローブ(1)と記される顕微鏡の電磁放射線のトランスミッタまたは検出装置において、多面体の先端(2)の最前部が使用される前記材料で被覆されていることを特徴とする近距離場プローブ(1)。

IPC (2件)：

G01N 37/00 , G01B 11/30

FI (3件)：

G01N 37/00 E , G01B 11/30 Z , G01N 37/00 C

引用特許：

審査官引用 (5件)

特公平4-005170
特公平4-038326
光学システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-192651 出願人：アメリカンテレフォンアンドテレグラフカムパニー

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