硬質カーボン膜の形成方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-178419
公開番号（公開出願番号）：特開平9-031655
出願日： 1995年07月14日
公開日（公表日）： 1997年02月04日
要約：

【要約】【構成】試料11の開口内面に直流正電位に接続する補助電極23を挿入するように試料を真空槽13内に配置し、真空槽内を排気後、ガス導入口15から炭素を含むガスを真空槽内に導入し、試料に直流電圧を印加しアノード31に直流電圧を印加しフィラメント33に交流電圧を印加してプラズマを発生させて試料に硬質カーボン膜を形成する。【効果】開口内面で同電位同士が対向することがなくなり、異常放電であるホロー放電は発生しない。そのため、密着の良好な硬質カーボン膜を試料に形成することができる。開口内面に形成する硬質カーボン膜の膜厚分布の発生がなく、開口端面と開口中側とで均一な膜厚を形成することができるという効果ももつ。さらに硬質カーボン膜の膜形成速度は、補助電極に直流正電圧を印加しないときに比らべて高くなる。

請求項（抜粋）：

試料の開口内面に直流正電圧を印加する補助電極電源に接続する補助電極を挿入するように試料を真空槽の中に配置し、真空槽内を排気後、ガス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に導入し、試料に直流電圧を印加しアノードに直流電圧を印加しフィラメントに交流電圧を印加してプラズマを発生させて試料に硬質カーボン膜を形成することを特徴とする硬質カーボン膜の形成方法。

IPC (3件)：

C23C 16/26 , C23C 16/50 , C30B 23/08

FI (3件)：

C23C 16/26 , C23C 16/50 , C30B 23/08

引用特許：

審査官引用 (10件)

特開昭62-180077
特開平2-070059
特開平2-054768

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