特許

J-GLOBAL ID：200903099275555551

ノズルプレートの製造方法

発明者： 横内 力
出願人/特許権者： 富士フイルム株式会社
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-257757
公開番号（公開出願番号）：特開2007-069423
出願日： 2005年09月06日
公開日（公表日）： 2007年03月22日
要約：

【課題】吐出効率を向上させるとともに、吐出方向、吐出量を安定化させる。【解決手段】基板上に第1の感光性材料を層状に形成し、第1の感光性材料上にストレート状の孔部を有するストレート部形成部材を配置し、前記孔部に第2の感光性材料を充填し、前記ストレート部形成部材側から所定の光を照射して、前記第2の感光性材料の略全体を感光するとともに、前記第1の感光性材料を前記基板側に向かって径が徐々に拡がるテーパ状に感光し、前記ストレート部形成部材を剥離するとともに、前記第1及び第2の感光性材料の現像処理を行い、前記現像工程により前記基板上に残存した前記第1及び第2の感光性材料を型として、めっき法により前記基板上に前記ノズルプレートとなる金属層を形成し、前記基板と前記第1及び第2の感光性材料から前記金属層を剥離することを特徴とするノズルプレートの製造方法を提供することにより、前記課題を解決する。【選択図】 図4

請求項（抜粋）：

液体供給側から液体吐出側に向かって径が徐々に狭くなるテーパ部と、前記テーパ部の液体吐出側に配置される略円筒状のストレート部とから成るテーパストレート状断面のノズルを有するノズルプレートの製造方法であって、 基板上に第1の感光性材料を層状に形成する感光性層形成工程と、 前記第1の感光性材料上に、前記ストレート部と略同形状の孔部を有するストレート部形成部材を配置し、前記孔部に第2の感光性材料を充填する感光性材料充填工程と、 前記ストレート部形成部材側から所定の光を照射して、前記第2の感光性材料の略全体を感光するとともに、前記第1の感光性材料を前記基板側に向かって径が徐々に拡がるテーパ状に感光する露光工程と、 前記ストレート部形成部材を剥離するとともに、前記第1及び第2の感光性材料の現像処理を行う現像工程と、 前記現像工程により前記基板上に残存した前記第1及び第2の感光性材料を型として、めっき法により、前記基板上に前記ノズルプレートとなる金属層を形成する金属層形成工程と、 前記基板と前記第1及び第2の感光性材料から前記金属層を剥離する剥離工程と、を含むことを特徴とするノズルプレートの製造方法。

IPC (1件)：

B41J 2/135

FI (1件)：

B41J3/04 103N

Fターム (9件)：

2C057AF23 ,  2C057AF43 ,  2C057AF93 ,  2C057AP02 ,  2C057AP37 ,  2C057AP38 ,  2C057AP55 ,  2C057AP57 ,  2C057AP60

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 電鋳用型製造方法及びインクジェットヘッド製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-144455   出願人：株式会社リコー
• インクジェットヘッド及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-009535   出願人：セイコーエプソン株式会社
• インクジェット記録ヘッドの製造方法、インクジェット記録ヘッド、およびインクジェット記録装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-353398   出願人：キヤノン株式会社
• ノズル形成部材の製造方法及びインクジェットヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-326461   出願人：株式会社リコー