特許
J-GLOBAL ID：200903099282274673
硬質カラー薄膜の製造法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西澤 利夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-346490
公開番号（公開出願番号）：特開平5-181007
出願日： 1991年12月27日
公開日（公表日）： 1993年07月23日
要約：
【要約】【構成】 高周波励起イオンプレーティングにより色素物質とともに透明混合物質を同時気相蒸着し、色素含有の混合硬質カラー薄膜を基体表面に形成する。また、その上下に、色素物質や透明物質、あるいは高周波励起イオンプレーティングによりITO透明導電性薄膜を形成する。【効果】 液晶カラーフィルター等として有用な、硬質で、鮮明なカラー薄膜が得られる。その耐食性、付着性も良好である。
請求項（抜粋）：
高周波励起イオンプレーティングにより色素物質とともに透明混合物質を同時気相蒸着し、色素含有の混合硬質カラー薄膜を基体表面に形成することを特徴とする硬質カラー薄膜の製造法。
IPC (3件)：
G02B 5/20 101
, G02F 1/1335 505
, G02F 1/1343
