特許
J-GLOBAL ID:200903099303675533
マイクロレンズ金型又は金型マスター、及びそれらの作製方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
加藤 一男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-202396
公開番号(公開出願番号):特開2001-001349
出願日: 1999年07月16日
公開日(公表日): 2001年01月09日
要約:
【要約】【課題】所望の曲率半径を有するマイクロレンズや開口数の大きなマイクロレンズを形成する為のマイクロレンズ金型又は金型マスター、及びそれらの作製方法である。【解決手段】マイクロレンズ金型又は金型マスターは、少なくとも一部が導電性部となっている基板1と、基板1上に形成された開口部4を有する絶縁性マスク層3と、開口部4及び絶縁性マスク層3上に形成されたメッキ層5から成る。開口部4の開口径ないし幅をφとし、メッキ層5の開口部4直上部の曲率半径をRするとき、φ≦0.35Rなる関係式を満たす。或は、開口部4の開口径ないし幅が10μm以下である。
請求項(抜粋):
導電性基板あるいは電極層を有する基板あるいは少なくとも一部が導電性部分となっている基板と、該基板上に形成された開口部を有する絶縁性マスク層と、開口部及び絶縁性マスク層上に形成されたメッキ層からなるマイクロレンズ金型又は金型マスターにおいて、開口部の開口径ないし幅をφとし、メッキ層の開口部直上部の曲率半径をRするとき、φ≦0.35Rなる関係式を満たすという条件と前記記開口部の開口径ないし幅が10μm以下であるという条件の一方を満たすことを特徴とするマイクロレンズ金型又は金型マスター。
IPC (4件):
B29C 33/38
, G02B 1/04
, G02B 3/00
, B29L 11:00
FI (4件):
B29C 33/38
, G02B 1/04
, G02B 3/00 A
, G02B 3/00 Z
Fターム (6件):
4F202AA36
, 4F202AH74
, 4F202CA01
, 4F202CB01
, 4F202CD12
, 4F202CD24
引用特許:
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