特許
J-GLOBAL ID:200903099356080264
ワイヤソー
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
松浦 憲三
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-019797
公開番号(公開出願番号):特開2000-218496
出願日: 1999年01月28日
公開日(公表日): 2000年08月08日
要約:
【要約】【課題】運転状況を容易に把握することができるワイヤソーを提供する。【解決手段】ワイヤソー10の運転状況を表示する表示モニタ62をワイヤソー本体11に対して着脱自在に設ける。これにより、オペレータは表示モニタ62を任意の位置に移動させることができ、その位置でワイヤソー10の運転状況を知ることができる。
請求項(抜粋):
被加工物を走行するワイヤ列に押し付けて被加工物を多数枚のウェーハに切断するワイヤソーにおいて、ワイヤソーの運転状況を表示する表示モニタが、ワイヤソー本体に対して着脱自在に設けられていることを特徴とするワイヤソー。
Fターム (12件):
3C058AA05
, 3C058AA18
, 3C058AB08
, 3C058AC02
, 3C058BA01
, 3C058BB01
, 3C058BC03
, 3C058CA01
, 3C058CB04
, 3C058CB06
, 3C058CB09
, 3C058DA03
引用特許: