特許

J-GLOBAL ID：200903099381236775

電極検査装置

発明者： 佐々木 務
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 上柳 雅誉 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-383021
公開番号（公開出願番号）：特開2003-185704
出願日： 2001年12月17日
公開日（公表日）： 2003年07月03日
要約：

【要約】【課題】 プローブの電極に対する安定した接触を得ること。【解決手段】 コラム部1に対してヘッド部2をリニアガイド3およびボールネジ5により移動可能に取り付け、ヘッド部2の端部プレート7に調整プレート8を設ける。調整プレート8にはリニアガイド11を介して支持プレート12を取り付ける。支持プレート12はスプリングにより自重を殺され、低摺動抵抗シリンダー13により接触圧を加えられる。支持プレート12の端部に設けたMFP50は、サーボモータ4の駆動制御によりヘッド部2ごと下降し配線パターンPに接触する。被検査対象Wの面変動は、支持プレート12が逃げることで吸収し且つプローブ51の接触圧は低摺動抵抗シリンダー13により一定になる。これによりプローブ51が電極に安定接触する。

請求項（抜粋）：

駆動モータおよびボールネジにより被検査対象に電極に対して垂直方向にヘッド部を移動するヘッド部と、ヘッド部に直動案内を介して垂直方向に移動可能に取り付けられると共に弾性手段により吊り下げられ、且つ下端に前記電極と接触するプローブを支持するプローブ支持手段と、ヘッド部側に固定され且つプローブ支持手段に対して前記垂直方向の下方に向かって一定の圧力を加える低摺動抵抗シリンダーと、を備えた電極検査装置。

IPC (4件)：

G01R 31/28 ,  G01R 1/06 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/66

FI (4件)：

G01R 1/06 E ,  G01R 31/26 J ,  H01L 21/66 B ,  G01R 31/28 K

Fターム (10件)：

2G003AG03 ,  2G003AH10 ,  2G011AA15 ,  2G011AB01 ,  2G011AC14 ,  2G011AE22 ,  2G132AF07 ,  2G132AL03 ,  4M106AA20 ,  4M106DD12

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-210627   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン山梨株式会社
• CMP研磨装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-207997   出願人：東芝機械株式会社