電気光学パネル及び電子機器

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-030038
公開番号（公開出願番号）：特開平11-311803
出願日： 1999年02月08日
公開日（公表日）： 1999年11月09日
要約：

【要約】【課題】 TFT駆動等によるアクティブマトリクス駆動方式の液晶パネルにおいて、画素が微細化しても工程歩留まりや画素開口率の低下を招かない液晶パネル及び当該液晶パネルを備えた電子機器を提供する。【解決手段】 TFTアレイ基板(10)上には、複数のデータ線(6a)にコンタクトホール(5)を介して夫々接続されており、データ線(6a)及び走査線(3a)によりTFT(30)を用いて駆動される複数の画素電極(9a)が設けられている。TFT(30)のドレイン領域と画素電極(9a)を接続するために層間絶縁膜に開孔するコンタクトホール(8)下に嵩上げ膜(13a)が形成されていることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

基板上には、複数のデータ線と、前記複数のデータ線に交差する複数の走査線と、前記各データ線及び前記各走査線に接続された薄膜トランジスタと、前記複数の薄膜トランジスタに接続されてマトリクス状に配置された複数の画素電極とを具備し、前記薄膜トランジスタは半導体層上にゲート絶縁膜を介してゲート電極が配置されてなり、前記半導体層及びゲート電極上には層間絶縁膜が配置されてなり、前記薄膜トランジスタのドレイン領域は前記層間絶縁膜に形成されたコンタクトホールを介して前記画素電極に接続されてなる電気光学パネルであって、前記コンタクトホールは前記走査線と前記データ線の少なくとも一方に近接して配置されてなり、前記コンタクトホール下には嵩上げ膜が形成されてなることを特徴とする電気光学パネル。

引用特許：

審査官引用 (2件)

液晶表示装置およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-145214 出願人：セイコーエプソン株式会社
液晶表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-152729 出願人：シャープ株式会社

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