特許
J-GLOBAL ID：200903099393982812

研磨用クロス及び研磨装置

発明者：
宮沢 芳宏

宮沢 芳宏 について

, 
鈴木 利彦

鈴木 利彦 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-127391
公開番号（公開出願番号）：特開平8-300252
出願日： 1995年04月28日
公開日（公表日）： 1996年11月19日
要約：
【要約】【目的】 研磨液を研磨面に均一にかつ必要な量を過不足なく供給できるようにした研磨用クロス及びその研磨用クロスに適した研磨装置を提供する。【構成】 本研磨用クロス10は、上表面に研磨面11を有する発泡ポリウレタン製の厚さ0.5mm〜3mmの研磨液含有層12と、厚さ4mmの研磨液透液性のベース層14とから構成されている。ベース層14は、ベース層14の下方から研磨液を透液させて研磨液含有層12に供給するために研磨液透液性の材料、例えば発泡ポリウレタン或いは発泡ポリスチレン等の発泡材又は不織布材で構成されている。研磨液透液性とは、研磨液を透液させる性質を言い、研磨液に含まれる研磨砥粒の大きさは、0.01μm から数μm であるから、ベース層14の研磨液透液性は、この大きさの研磨砥粒を通過させる研磨液透液性である必要がある。
請求項（抜粋）：
表面に研磨面を有し、発泡材又は不織布材のいずれかからなる研磨液保液層と、研磨液保液層を支持するベース層とを備える研磨用クロスにおいて、ベース層が研磨液透液性であることを特徴とする研磨用クロス。
IPC (6件)：
B24B 37/00 ,  B24B 1/00 ,  B24B 37/04 ,  B24B 57/02 ,  H01L 21/304 321 ,  H01L 21/304
FI (6件)：
B24B 37/00 C ,  B24B 1/00 A ,  B24B 37/04 A ,  B24B 57/02 ,  H01L 21/304 321 E ,  H01L 21/304 321 Z
引用特許：
審査官引用 (13件)
  • 特開平2-088165
  • 特開昭58-045861
  • 研磨加工装置および研磨加工方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-194458   出願人：株式会社日立製作所
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