特許

J-GLOBAL ID：200903099399906115

位置合わせ精度の確認方法

発明者： 武川 博三
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 大前 要
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-134538
公開番号（公開出願番号）：特開2000-323402
出願日： 1999年05月14日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
要約：

【要約】【課題】 従来の位置合わせ精度の確認方法においては、バーニアを構成する副尺の先端部が、バーニアを構成する長方形状の主尺のどこで最もよく合っているのかを一つづつ判定しないといけないので時間がかかり、また、判断基準が1つしかなく、概略どれ位位置ずれしているかは即座に判断できなかった。【解決手段】 副尺を三角形状とし、主尺を四角形状とし、三角形状の副尺3のパターン3aが位置合わせ精度確認方向において四角形状の主尺2のパターン2aに包含されるとともに、前記副尺3のパターン3aを構成する二頂点A・Bが、主尺2のパターン2aを構成する二辺C・Dと一致する位置の、基準点からの距離より二対象物の位置合わせの精度を確認することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

自動位置合わせ機構を有する装置を用いて二対象物の自動位置合わせを行った後、一方の対象物に形成された主尺と他方の対象物に形成された副尺からなるバーニアにより二対象物の位置合わせの精度を確認する位置合わせ精度の確認方法であって、あらかじめ、一方の対象物に、位置合わせ精度確認方向に略平行な一辺を含む形状の副尺を形成し、他方の対象物には、位置合わせ精度確認方向に対して略垂直な、相対向する二辺を含む形状の主尺を形成し、前記副尺が位置合わせ精度確認方向において主尺に包含されるとともに、副尺を構成する、位置合わせ精度確認方向に沿って最も離れた二点が、少なくとも、前記主尺を構成する二辺と一致する位置の、基準点からの距離により前記二対象物の位置合わせの精度を確認することを特徴とする位置合わせ精度の確認方法。

FI (2件)：

H01L 21/30 502 M ,  H01L 21/30 522 Z

Fターム (6件)：

5F046DB05 ,  5F046EA04 ,  5F046EA09 ,  5F046EB01 ,  5F046EB02 ,  5F046FA17

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-238809
  
• フォトマスクおよびフォトマスク群
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-161755   出願人：リコー光学株式会社
• 特開平3-238809