特許
J-GLOBAL ID：200903099431938954
拡散アルミニド皮膜の厚さ及びアルミニウム含量を制御する方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松本 研一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-193695
公開番号（公開出願番号）：特開2001-064763
出願日： 2000年06月28日
公開日（公表日）： 2001年03月13日
要約：
【要約】【課題】 ガスタービンエンジン用部品等の基板(10)に拡散アルミニド皮膜(12)を形成する方法の提供。【解決手段】 本発明の方法は、基板(10)を適当なコーティングチャンバー内に配置し、不活性又は還元性ガスをコーティングチャンバ内へ流し、次いで、気相蒸着法のような実質的に一定のアルミニウム活量でのアルミナイジング法を用いて基板(10)をアルミナイジングすることからなる。アルミナイジングプロセス中、コーティングチャンバ内の非反応アルミニウムの量は、未反応アルミニウムの一部が上記ガスによってコーティングチャンバから掃去されるようにコーティングチャンバ内を流れるガス流速を変えることによって制御される。ガスによってコーティングチャンバから掃去される未反応アルミニウムの量は、得られるアルミナイジング速度及びアルミニド皮膜(12)のアルミニウム含量が制御されるように、ガス流量を調量することによって制御される。
請求項（抜粋）：
拡散アルミニド皮膜(12)の形成方法であって、当該方法が、基板(10)をコーティングチャンバー内に配置し、不活性又は還元性ガスをコーティングチャンバ内へ流し、次いで上記ガスによって未反応アルミニウムの一部がコーティングチャンバから掃去され、しかもガス流速が高いほどコーティングチャンバから掃去される未反応アルミニウムの量が多くなるようにコーティングチャンバ内を流れるガス流速を変えることによってコーティングチャンバ内の未反応アルミニウム量を制御しながら、実質的に一定のアルミニウム活量でのアルミナイジング法を用いて基板(10)をアルミナイジングすることによって基板(10)上に拡散アルミニド皮膜(12)を生じさせる各段階を含んでなる方法。
引用特許：
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