圧電アクチュエータおよびインクジェット記録ヘッド

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：深井敏和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-183504
公開番号（公開出願番号）：特開2004-336981
出願日： 2003年06月26日
公開日（公表日）： 2004年11月25日
要約：

【課題】インク流路や個別電極を高密度に配列した場合であっても、低電圧で十分な変位振動を得ることができる高効率なアクチュエータ、並びにクロストークの発生を抑制しかつ低電圧で十分なアクチュエータの変位振動を得ることができるインクジェット記録ヘッドを提供することである。【解決手段】振動板2上に、共通電極3、圧電セラミック層4、個別電極5、圧電セラミック層6、共通電極7、圧電セラミック層8および個別電極9がこの順に積層され、個別電極5,9が圧電セラミック層4,8の表面に複数配列され、圧電セラミック層4,6,8が、高圧電定数部4a,6a,8aと、低圧電定数部4b,6b,8bとから構成され、高圧電定数部4a,6a,8aの表面に個別電極5,9が設けられている圧電アクチュエータ1である。また、この圧電アクチュエータを備えたインクジェット記録ヘッドである。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

振動板上に、共通電極、厚さが100μm以下の圧電セラミック層および個別電極がこの順に積層され、前記個別電極が圧電セラミック層の表面に複数配列された圧電アクチュエータであって、前記圧電セラミック層が、圧電定数の大きい高圧電定数部と、圧電定数の小さい低圧電定数部とから構成され、前記高圧電定数部の表面に前記個別電極が設けられていることを特徴とする圧電アクチュエータ。

IPC (6件)：

H02N2/00 , B41J2/045 , B41J2/055 , H01L41/083 , H01L41/09 , H01L41/22

FI (8件)：

H02N2/00 C , B41J3/04 103A , H01L41/08 J , H01L41/22 B , H01L41/08 N , H01L41/08 L , H01L41/08 Q , H01L41/22 Z

Fターム (30件)：

2C057AF37 , 2C057AF40 , 2C057AF55 , 2C057AG12 , 2C057AG44 , 2C057AG49 , 2C057AG92 , 2C057AG93 , 2C057AG94 , 2C057AP02 , 2C057AP15 , 2C057AP22 , 2C057AP90 , 2C057BA04 , 2C057BA14 , 5H680AA06 , 5H680BB13 , 5H680BC04 , 5H680BC05 , 5H680DD01 , 5H680DD23 , 5H680DD34 , 5H680DD39 , 5H680DD65 , 5H680DD95 , 5H680FF13 , 5H680GG02 , 5H680GG25 , 5H680GG27 , 5H680GG42

引用特許：

審査官引用 (6件)

圧電トランスデューサおよび液滴噴射装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-080286 出願人：ブラザー工業株式会社
インクジェット記録ヘッド及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-184613 出願人：松下電器産業株式会社
傾斜機能材料の製造方法およびその製造方法により作製したアクチユエ-タ
公報種別：公開公報出願番号：特願平2-230989 出願人：横河電機株式会社

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