特許
J-GLOBAL ID:200903099461009168
積層コンデンサの製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
金山 聡
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-040975
公開番号(公開出願番号):特開2000-243644
出願日: 1999年02月19日
公開日(公表日): 2000年09月08日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】積層コンデンサの製造方法を提供する。【解決手段】基板の型面に離型処理を施した後、所定の内部電極パターンA、および内部電極パターンBをネガ状態に焼き付け、内部電極形成部以外の感光性樹脂膜をベークすることによりレジスト膜A及びレジスト膜Bとする工程と、内部電極パターンA、および内部電極パターンBに金属めっきをして、めっき層Aおよびめっき層Bを形成する工程と、めっき層A及びレジスト膜Aをキャリアシートに転写してキャリアシートAとし、めっき層B及びレジスト膜Bをキャリアシートに転写してキャリアシートBとする工程と、グリーンシート、キャリアシートA、グリーンシート、キャリアシートB、グリーンシート、キャリアシートA、グリーンシートと順番に繰り返し積層して積層体とする工程および、積層体を加熱圧着し、その後、外部電極を形成する。
請求項(抜粋):
パターン化されて形成された内部電極の存在のもとに、複数枚のセラミックグリーンシートを積層した積層体を焼成して得られる焼結体を用いた積層コンデンサの製造方法において、1) 基板の片面に感光性樹脂を塗布乾燥し、所定の内部電極パターンA、および内部電極パターンBをネガ状態に焼き付け、現像処理により、内部電極形成部の感光性樹脂膜を除去し、前記内部電極形成部以外の感光性樹脂膜をベークすることによりレジスト膜A及びレジスト膜Bとする工程、2)前記内部電極パターンA、および内部電極パターンBの内部電極形成部に金属めっきをして、それぞれ導電層Aおよび導電層Bを形成する工程、3)前記導電層A及びレジスト膜Aをキャリアシートに転写してキャリアシートAとし、前記導電層B及びレジスト膜Bをキャリアシートに転写してキャリアシートBとする工程、4)前記グリーンシート、キャリアシートA、グリーンシート、キャリアシートB、グリーンシート、キャリアシートA、グリーンシートのような順番に繰り返し積層して積層体とする工程、5)該積層体を加熱圧着して、前記キャリアシート及び前記レジスト膜を加熱加圧により焼失させ、その後、還元焼成して外部電極を形成する工程、からなることを特徴とする積層コンデンサの製造方法。
IPC (3件):
H01G 4/12 343
, H01G 4/12 364
, H01G 4/30 311
FI (3件):
H01G 4/12 343
, H01G 4/12 364
, H01G 4/30 311 Z
Fターム (34件):
5E001AB03
, 5E001AC09
, 5E001AF06
, 5E001AH05
, 5E001AH06
, 5E001AH07
, 5E001AH09
, 5E001AJ01
, 5E082AA01
, 5E082AB03
, 5E082BC38
, 5E082EE05
, 5E082EE23
, 5E082EE26
, 5E082EE39
, 5E082EE45
, 5E082FG06
, 5E082FG26
, 5E082FG54
, 5E082GG10
, 5E082GG11
, 5E082GG28
, 5E082HH43
, 5E082JJ03
, 5E082JJ12
, 5E082JJ23
, 5E082LL01
, 5E082LL02
, 5E082LL03
, 5E082LL35
, 5E082MM21
, 5E082MM22
, 5E082MM24
, 5E082MM26
引用特許:
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