特許
J-GLOBAL ID：200903099463571793
ガスセンサ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
下田 容一郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-078860
公開番号（公開出願番号）：特開平5-087760
出願日： 1992年02月28日
公開日（公表日）： 1993年04月06日
要約：
【要約】【目的】 NH3(アンモニアガス)を検出するにあたり、200〜500°Cで高感度なガスセンサを提供すること。【構成】 ガスセンサ1は筒状アルミナ管2に一対のPt線3,3を巻回し、このPt線3,3を包むようにWO3にPt、Ru、Au、Ag、Rh及びPdのうちの少なくとも1種を添加してなる金属酸化物半導体4を形成している。
請求項（抜粋）：
主体となる金属酸化物に添加物を加えた金属酸化物半導体に対するガスの吸脱着による抵抗値の変化を利用したガスセンサにおいて、前記主体となる金属酸化物をWO3とし、添加物をPt、Ru、Au、Ag、Rh及びPdのうちの少なくとも1種としたことを特徴とするガスセンサ。
引用特許：
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