特許
J-GLOBAL ID：200903099488308280
欠陥検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-327235
公開番号（公開出願番号）：特開平8-184570
出願日： 1994年12月28日
公開日（公表日）： 1996年07月16日
要約：
【要約】【目的】 パターン欠陥検査の被検査基板上の任意の形状の範囲を容易かつ正確・迅速に指定できるようにすること。【構成】 被検査基板上の検査範囲を指定する際に、ディスプレー上に被検査基板上のパターンDGを表示し、同時に表示されたマウスカーソルMCを、マウスを動かすことにより移動させ、検査範囲を矩形・多角形・円形などを使用して任意の位置及び形状に指定していくことにより、検査範囲の指定を行う。検査範囲を指定する図形については修正などの編集も可能である。
請求項（抜粋）：
所定のパターンが形成された被検査物についてのパターン欠陥の検査を行う装置であって、前記被検査物の画像を表示する表示手段と、前記表示手段に表示された前記被検査物の画像を観察しつつ、前記画像の任意の範囲を指定するための範囲指定データを入力する入力手段と、前記範囲を表現する図形を発生して、前記表示手段上に前記画像と前記図形とを重ねて表示させる表示制御手段と、前記範囲についての前記画像のパターン欠陥の検査を行う検査手段と、を備えることを特徴とする欠陥検査装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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