特許

J-GLOBAL ID：200903099498769456

表面プラスモン光学装置及びフォトリソグラフィー用光放出表面プラスモンソース

発明者： キム、デシック ,  ホン、ソンチョル ,  パク、ゾンワン ,  ユン、ヨチャン ,  リュウ、ハンヨル ,  ユウ、キョンファ ,  リーノー、クリストフ ,  マルヤルチュック、ビクター
出願人/特許権者： キム、デシック ,  ホン、ソンチョル ,  マックス-ボルン-インスティテュート・フト・ニヒトリネアーレ・オプティック・ウント・クルッツァイトシュペクトロシュコピー
代理人 (8件)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  蔵田 昌俊 ,  峰 隆司 ,  福原 淑弘 ,  村松 貞男 ,  橋本 良郎
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-544521
公開番号（公開出願番号）：特表2005-509900
出願日： 2001年11月10日
公開日（公表日）： 2005年04月14日
要約：

【課題】【解決手段】誘電体基板12、誘電体基板上に形成された金属膜11及び金属膜の中に周期的に配列された孔13の配列を含み、金属回折格子に光が照射される時、金属-空気界面上から光が放出される表面プラスモン光学装置を開示する。表面プラスモン光学装置は、表面プラスモン発生装置10、表面プラスモン検出器、表面プラスモン調節装置(surfaceplasmonoptics)、蝕刻装置などを含む。金属回折格子をよく定義された境界面を有する金属膜上に配置すると、表面プラスモンの伝播を効率的に反射、分離及び制御することができる。また、空気-金属1,0モードから作られる格子常数の半周期を有する光放出表面プラスモン(radiatingsurfaceplasmon)は、その形態が少なくとも数ミクロンまで維持されるようにすることができる。

請求項（抜粋）：

第1の表面と第2の表面とを有する誘電体基板; 第1の表面と第2の表面とを有する金属膜であって、前記金属膜の第1の表面が前記誘電体の第2の表面に実質的に接する光学的に厚い金属膜;及び 前記金属膜の第1の表面と前記金属膜の第2の表面とを貫通するナノメートル大きさの孔の周期的な配列を含み、 光が前記誘電体基板の第1の表面側から前記周期的な孔配列に入射されて、前記金属膜の第2の表面上で空気/金属モード表面プラスモンが励起され縞模様の光が放出されることを特徴とする、表面プラスモン発生器。

IPC (2件)：

G02F1/01 ,  G02B6/12

FI (2件)：

G02F1/01 ,  G02B6/12 Z

Fターム (9件)：

2H047KA02 ,  2H047LA09 ,  2H047LA12 ,  2H047MA07 ,  2H047NA01 ,  2H079AA02 ,  2H079AA08 ,  2H079CA12 ,  2H079DA22

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 波長以下の径の貫通孔を有する金属薄膜を利用する光透過制御装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-099149   出願人：日本電気株式会社
• 開口部と周期的に変化する表面形状を有する金属フィルムを利用する光伝送装置。
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-229231   出願人：日本電気株式会社

引用文献：

審査官引用 (1件)

• Transmission, Control and Coherent Propagation of Surface Plasmons in Metal Nanostructures