特許
J-GLOBAL ID：200903099568932457

外観検査装置および外観検査方法

発明者：
石田 淳一

石田 淳一 について


出願人/特許権者：
シャープ株式会社

シャープ株式会社 について

, 
シャープマニファクチャリングシステム株式会社

シャープマニファクチャリングシステム株式会社 について


代理人 (1件)： 西教 圭一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-139083
公開番号（公開出願番号）：特開2002-333406
出願日： 2001年05月09日
公開日（公表日）： 2002年11月22日
要約：
【要約】【課題】 簡単な構成で、歩留りと製品品質を向上させる外観検査装置および外観検査方法を提供する。【解決手段】 照明手段1は連続した波長帯域の光を照射する。撮像手段2は複数の異なる波長に中心感度を持つ映像信号を出力する。したがって被検査基板8上の場所の違いによって発生する光の波長の変化と、欠陥による波長および輝度の変化とを区別することができる。また撮像手段2の画角に対応した波長の光を捕らえることができるので、装置の配置を調整する機構が必要なく、装置構成が簡単になる。駆動手段5は照明手段1および撮像手段2の組と、基板保持手段4とを相対的に移動させる。被検査基板8を異なる位置から複数回撮像し、撮像された複数の画像に基づいて欠陥検査を行う。したがって被検査基板8上の場所が違っても同じ条件で比較することができる。また欠陥の検出対象を広げることができる。
請求項（抜粋）：
被検査基板を保持する基板保持手段と、被検査基板を撮像し、かつ複数の異なる波長に中心感度をもつ映像信号を出力する撮像手段と、前記撮像手段に対して固定的な位置にあり、被検査基板に連続した波長帯域の光を照射する照明手段と、前記撮像手段および前記照明手段の組と、前記基板保持手段とを相対的に移動させる駆動手段と、前記駆動手段によって、前記撮像手段および前記照明手段の組と、前記基板保持手段とを相対的に移動させ、被検査基板を複数回撮像することで得られる複数位置での被検査基板の画像データに基づいて欠陥の検出を行う画像処理手段とを備えることを特徴とする外観検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/956 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/66
FI (3件)：
G01N 21/956 A ,  H01L 21/66 J ,  H01L 21/30 502 V
Fターム (19件)：
2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051BA05 ,  2G051BB01 ,  2G051BB07 ,  2G051BB17 ,  2G051CA04 ,  2G051CA06 ,  2G051CB06 ,  2G051CC12 ,  2G051DA07 ,  2G051EA17 ,  2G051EB01 ,  2G051EC03 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106BA04 ,  4M106CA38 ,  4M106DB04
引用特許：
審査官引用 (2件)
  • ウェーハ欠陥検査装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-284296   出願人：株式会社堀場製作所
  • 外観検査装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-178418   出願人：株式会社神戸製鋼所

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