特許
J-GLOBAL ID：200903099570958820
インクジェットヘッドの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-227351
公開番号（公開出願番号）：特開平7-081068
出願日： 1993年09月13日
公開日（公表日）： 1995年03月28日
要約：
【要約】【目的】 印字品質に優れたインクジェットヘッドの製造方法を提供すること。【構成】 圧電セラミックスプレート2に、スピンコート法によりエポキシ樹脂の膜を成膜する。次に、圧電セラミックスプレート2、カバープレート3及びポリイミド製のフィルムを仮的に接着し、ポリイミド製のフィルムを下側にして加熱オーブン内に設置して、加熱処理を行なう。すると、圧電セラミックスプレート2、カバープレート3及びノズルプレート31となるポリイミド製のフィルムが強固に接着されると共に、エポキシ樹脂は加熱の初期段階で一旦粘度が低下して、重力によりポリイミド製のフィルム側に反球面状に堆積し、加熱の終期段階で完全に硬化する。次いで、ポリイミド製のフィルムの各インク流路12の位置に対応した位置にノズル32をエキシマレーザ等により形成する。
請求項（抜粋）：
インク吐出口が形成されるノズルプレートと、前記ノズルプレートが接着され、前記インク吐出口に連通するインク流路が形成されたアクチュエータ部とを有するインクジェットヘッドの製造方法において、前記インク流路内に樹脂を供給する工程と、前記ノズルプレートとなる前記インク吐出口が設けられていないプレートを、前記アクチュエータ部に接着する工程と、前記アクチュエータ部及び前記プレートを加熱し、前記インク流路内の前記樹脂を前記プレート側に堆積させる工程と、前記プレートにインク吐出口を形成する工程とからなり、前記インク吐出口と前記インク流路との連通面を前記樹脂により曲面とすることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
IPC (3件)：
B41J 2/135
, B41J 2/045
, B41J 2/055
B41J 3/04 103 N
, B41J 3/04 103 A
