特許
J-GLOBAL ID：200903099651666963

加速度センサ

発明者：
多保田 純

多保田 純 について


出願人/特許権者：
株式会社村田製作所

株式会社村田製作所 について


代理人 (1件)： 岡田 和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-173018
公開番号（公開出願番号）：特開平7-027784
出願日： 1993年07月13日
公開日（公表日）： 1995年01月31日
要約：
【要約】【目的】 接着剤を用いることなく強固に接合された圧電セラミック板からなる検出素子を備えた加速度センサを提供する。【構成】 主表面上に電極2,3が形成されて分極処理された一対の圧電セラミック板4を対面接合してなるバイモルフ型検出素子1を備えた加速度センサであって、バイモルフ型検出素子1は、主表面上に電極パターン6,7が印刷された一対の圧電セラミックグリーンシート5を重ね合わせ、かつ、これらを厚み方向に沿って加圧したうえで焼成した後、焼成によって得られたセラミック積層体のそれぞれに対する分極処理を行って作製されたものとなっている。
請求項（抜粋）：
主表面上に電極(2,3)が形成されて分極処理された一対の圧電セラミック板(4)を対面接合してなるバイモルフ型検出素子(1)を備えた加速度センサであって、バイモルフ型検出素子(1)は、主表面上に電極パターン(6,7)が印刷された一対の圧電セラミックグリーンシート(5)を重ね合わせ、かつ、これらを厚み方向に沿って加圧したうえで焼成した後、焼成によって得られたセラミック積層体のそれぞれに対する分極処理を行って作製されたものであることを特徴とする加速度センサ。
引用特許：
審査官引用 (2件)

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