特許
J-GLOBAL ID：200903099653578964
データコンテキストに基づいてデータを処理する方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
鈴江 武彦
, 河野 哲
, 中村 誠
, 村松 貞男
, 橋本 良郎
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-531009
公開番号（公開出願番号）：特表2005-536891
出願日： 2003年08月14日
公開日（公表日）： 2005年12月02日
要約：
【課題】データコンテキストに基づいてデータを処理する方法【解決手段】半導体処理環境におけるデータを管理する方法。プロセス中に、生データが収集される。また、追跡ファイルデータ及びプロセスログファイルデータを受け取る。該生データは、該追跡ファイルデータ及びプロセスログファイルデータと同期されて、ウェハデータを生成する。サマリデータは、該生データから計算され、該ウェハデータ及びサマリデータを含むファイルが生成される。
請求項（抜粋）：
半導体処理環境におけるデータを管理する方法であって、
プロセス中に生データを収集することと、
追跡ファイルデータ及びプロセスログファイルデータを受け取ることと、
前記生データを、ウェハデータを生成するように前記追跡ファイルデータ及びプロセスログファイルデータと同期させることと、
前記生データからサマリデータを計算することと、
前記ウェハデータ及び前記サマリデータを含むファイルを生成することとを備える方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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