特許
J-GLOBAL ID：200903099669323958
超小型加速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
飯沼 義彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-083361
公開番号（公開出願番号）：特開平9-243658
出願日： 1996年03月12日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、全体としてのサイズが1cm角以下の振子式超小型加速度センサに関し、特に振子を支持するばねの非線形特性などの影響を受けない正確な加速度検出を超小型のサイズで実現できるようにした。【解決手段】 微小な基盤11の一部に導電性被膜として形成された固定コンデンサ極板1と、同極板1に対向するように導電性被膜としての可動コンデンサ極板5を形成された振子3と、振子ばね4とをそなえ、固定コンデンサ極板1に静磁界発生用コイル7が設けられるとともに可動コンデンサ極板5に駆動コイル9が設けられて、加速度検出時に振子3の動きに伴い各コンデンサ極板1,5に結線された変位検出用集積回路2からの検出信号に応じサーボアンプ集積回路10から駆動コイル9に電流が流されることにより、振子の実際の動きを拘束できるようになっている。そして上記コイル9に流される電流は検出すべき加速度に比例するので、この電流の計測により加速度が求められる。
請求項（抜粋）：
微小な基板の一部に導電性被膜として形成された固定コンデンサ極板と、同固定コンデンサ極板に対向する可動コンデンサ極板を導電性被膜として表面に形成された振子と、同振子を上記基板に弾性的に連結する振子ばねと、上記の固定コンデンサ極板および可動コンデンサ極板に結線されて上記振子の変位を検出する変位検出用集積回路とをそなえるとともに、上記固定コンデンサの表面に設けられた少なくとも2個の静磁界発生用コイルと、同静磁界発生用コイルと対向するように上記可動コンデンサ極板の表面に設けられた振子駆動用コイルと、上記変位検出用集積回路で検出された上記振子の変位量に基づき上記振子駆動用コイルに電流を流して上記振子の変位を拘束するためのサーボアンプ集積回路とをそなえ、同サーボアンプ集積回路から上記振子駆動用コイルへ流される電流に基づき加速度が検出されるように構成されたことを特徴とする、超小型加速度センサ。
引用特許：
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