特許
J-GLOBAL ID：200903099681186303
短絡無効化方法およびこの方法を用いて製造された液晶表示装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡田 和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-109007
公開番号（公開出願番号）：特開平11-305261
出願日： 1998年04月20日
公開日（公表日）： 1999年11月05日
要約：
【要約】【課題】 液晶表示装置の製造において静電気に起因した高電圧でTFTが破壊されるのを防止するのに走査線・信号線の各端子部をショートリングで接続しているが、製品段階では不要となるのでレーザ光照射によりショートリングを端子部から分断して無効化することになる。そのとき発生する導電膜残滓によってファインピッチの隣接端子部間が短絡しないようにする。【解決手段】 端子部1群とショートリング2との接続箇所の各々を互いに独立した遮光膜(マスキング)3で個別的に被覆し、ショートリング2に沿ってレーザスポットRを照射移動することにより隣接する遮光膜3,3間の露出導電膜部分2aを蒸発させて分断し、隣接する端子部1,1どうしを電気的に分離し、ショートリング2を無効化する。発生した導電膜残滓2c,2cどうしは充分に大きな間隙w1 を隔てられ、隣接端子部1,1間が短絡することはない。
請求項（抜粋）：
端子部または端子部どうしを接続する線路を構成する導電膜にエネルギーを付与して導電膜を分断する方法であって、導電膜残滓が隣接端子部間を短絡しないようにマスキングを施した上でエネルギーを付与する短絡無効化方法。
IPC (2件)：
G02F 1/136 500
, G02F 1/1345
G02F 1/136 500
, G02F 1/1345
