特許
J-GLOBAL ID：200903099726801136
超純水製造供給装置及びその洗浄方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
本多 小平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-016575
公開番号（公開出願番号）：特開平9-206743
出願日： 1996年02月01日
公開日（公表日）： 1997年08月12日
要約：
【要約】【課題】 循環系を有する超純水製造供給装置において菌繁殖の可能性が高い分岐ラインの好適な洗浄方法を提供する。【解決手段】 原水に含まれる懸濁物質を除去し、次いでイオン及び非イオン性物質を除去するl次純水処理を行った後、微量残留物を除去する2次純水処理を行なって超純水を得る超純水製造系と、超純水を2次純水処理の前段に返送する循環ラインと、この循環ラインの途中から分岐してユースポイントに送水する分岐ラインとを有する供給系を有する超純水製造供給装置において、前記1次純水又は2次純水の一部を取出し、電気分解して純水電解アノード水及び純水電解カソード水を得、この電解水を分岐ラインに注入して、菌繁殖の可能性が高い分岐ラインの超純水接液部を洗浄する。
請求項（抜粋）：
原水に含まれる懸濁物質を除去する前処理装置と、前処理水中のイオン及び非イオン性物質を除去する1次純水処理を行うl次純水装置と、1次純水中の微量残留物をイオン交換手段及び膜処理手段により除去する2次純水処理を行なう2次純水装置と、前記1次純水装置と2次純水装置の間に配置された1次純水槽と、2次純水装置の出口水を前記1次純水槽に返送する循環ラインの配管と、この循環ラインの途中から分岐して2次純水をユースポイントに送水する分岐ラインの配管とを備えた超純水製造供給装置において、前記1次純水装置の出口から2次純水装置の出口の間のいずれかの位置から用水を取出して電気分解する電気分解装置と、電気分解して得たアノード水及びカソード水の少なくともいずれかを前記分岐ラインの配管に注入する洗浄用水注入手段とを備えたことを特徴とする超純水製造供給装置。
IPC (4件)：
C02F 1/42
, C02F 1/44
, C02F 1/46
, C25B 9/00 301
C02F 1/42 A
, C02F 1/44 J
, C02F 1/46 A
, C25B 9/00 301
