特許
J-GLOBAL ID:200903099771211293
半導体装置及びその作製方法
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-365771
公開番号(公開出願番号):特開2005-228298
出願日: 2004年12月17日
公開日(公表日): 2005年08月25日
要約:
【課題】 ICカードは磁気カードと比較してコストが高く、電子タグもバーコードの代替品としてはコスト高である。そこで本発明は、従来のシリコンウェハのチップと異なり、低コストで大量生産でき、さらに非常に薄い集積回路及びその形成方法を提供する。【解決手段】 ガラス基板、石英基板、ステンレス基板、アクリル等の可撓性を有する合成樹脂からなる基板等であって、バルク基板以外に、選択的にパターンを形成可能な方法により、薄膜集積回路を形成することを特徴とする。そして、本発明の薄膜集積回路及びアンテナを実装した半導体装置を形成する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
液滴吐出法又は印刷法を用いて形成されたパターンを有する薄膜トランジスタと、前記薄膜トランジスタを有する薄膜集積回路と、アンテナと、を有し、
前記薄膜集積回路は、前記アンテナと電気的に接続するように基板へ実装されていることを特徴とする半導体装置。
IPC (6件):
G06K19/077
, G06K19/07
, H01L21/336
, H01L21/822
, H01L27/04
, H01L29/786
FI (5件):
G06K19/00 K
, G06K19/00 H
, H01L27/04 L
, H01L29/78 627D
, H01L29/78 627C
Fターム (104件):
2C005MA18
, 2C005MB10
, 2C005NA09
, 2C005NB09
, 2C005NB10
, 2C005NB27
, 2C005NB39
, 2C005PA03
, 2C005RA22
, 2C005RA26
, 5B035BA03
, 5B035BB09
, 5B035CA01
, 5B035CA23
, 5F038AZ04
, 5F038BE07
, 5F038CD18
, 5F038DF01
, 5F038DF11
, 5F038EZ14
, 5F038EZ20
, 5F110AA30
, 5F110BB20
, 5F110CC02
, 5F110CC07
, 5F110DD01
, 5F110DD02
, 5F110DD03
, 5F110DD12
, 5F110DD13
, 5F110DD14
, 5F110DD15
, 5F110DD17
, 5F110DD25
, 5F110EE01
, 5F110EE02
, 5F110EE03
, 5F110EE04
, 5F110EE06
, 5F110EE14
, 5F110EE42
, 5F110EE44
, 5F110EE45
, 5F110FF01
, 5F110FF04
, 5F110FF09
, 5F110FF27
, 5F110FF28
, 5F110FF30
, 5F110FF32
, 5F110GG01
, 5F110GG02
, 5F110GG06
, 5F110GG13
, 5F110GG14
, 5F110GG15
, 5F110GG16
, 5F110GG42
, 5F110GG43
, 5F110GG44
, 5F110GG45
, 5F110HJ01
, 5F110HK02
, 5F110HK03
, 5F110HK04
, 5F110HK06
, 5F110HK09
, 5F110HK14
, 5F110HK21
, 5F110HK32
, 5F110HK33
, 5F110HK35
, 5F110HK41
, 5F110HL02
, 5F110HL03
, 5F110HL04
, 5F110HL06
, 5F110HL08
, 5F110HL11
, 5F110HL14
, 5F110HL22
, 5F110HL23
, 5F110HL24
, 5F110NN03
, 5F110NN23
, 5F110NN24
, 5F110NN27
, 5F110NN33
, 5F110NN35
, 5F110NN36
, 5F110NN71
, 5F110PP01
, 5F110PP03
, 5F110PP06
, 5F110PP10
, 5F110PP13
, 5F110PP34
, 5F110PP35
, 5F110QQ01
, 5F110QQ08
, 5F110QQ09
, 5F110QQ11
, 5F110QQ16
, 5F110QQ28
引用特許:
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